一种用于AF膜的连续蒸发镀膜装置的制作方法

本发明涉及真空镀膜，尤其涉及一种用于af膜的连续蒸发镀膜装置。

背景技术：

1、真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成镀膜的一种方法。

2、防污膜(af膜)作为一种目前常用的镀膜材料，被广泛应用于触摸屏和镜头等光电元件中，防污膜原材料可以是固体药片，也可以采用防污膜原液，其中防污膜原液(下称af液)以其低成本和易于精确定量成为镀膜优选。目前的蒸镀方式一般是蒸发机构的位置固定不变，通过控制工件旋转，实现对工件的镀膜，蒸发机构可以设置在旋转轴的下方朝向工件进行蒸镀，也可以设置在旋转轴的周边朝向工件进行蒸镀，由于af膜的药材为液体，只能将蒸发机构设置在旋转轴下方，否则af液在气化前会因为重力作用从蒸发机构的蒸发口滴落，从而增加af液损耗，提高成本，此外蒸发机构再进行下一次蒸镀的加药前，需要进行降温冷却，影响生产效率。

技术实现思路

1、本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种提高生产效率、降低成本的用于af膜的连续蒸发镀膜装置

2、为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

3、一种用于af膜的连续蒸发镀膜装置，包括安装架，所述安装架上间隔布置有多组蒸发机构，安装架一侧设置有多组数量与蒸发机构匹配的旋转驱动机构，另一侧设置有多组数量与蒸发机构匹配的加液机构，各所述蒸发机构连接在对应旋转驱动机构上，各所述旋转驱动机构驱使蒸发机构转动至加液机构处接收药液后再驱使蒸发机构转动以朝向工件进行镀膜。

4、作为上述技术方案的进一步改进：

5、所述安装架包括架体和安装腔，各所述蒸发机构布置在安装腔内，各所述旋转驱动机构和加液机构布置在安装腔两侧腔壁上。

6、所述旋转驱动机构包括驱动器和转轴，所述驱动器固装在安装腔腔壁上，所述转轴连接在驱动器的输出端上，所述蒸发机构固接在转轴上。

7、所述加液机构包括安装座、药液瓶和流量计，所述安装座固装在安装腔在腔壁上，所述药液瓶和流量计固装在安装座上，所述流量计的进液端与药液瓶的出液端连接，流量计的出液端布置在对应蒸发机构的上方。

8、所述安装腔内设置有限位固定流量计出液端的固定台，所述固定台螺栓连接在安装腔内。

9、所述蒸发机构包括旋转块、加热器和坩埚，所述旋转块一端与转轴固定连接，另一端成型有安装部，所述加热器与坩埚固装在安装部上，所述安装部两侧设置有圆弧形挡板。

10、所述旋转块上成型有以连接点为圆心呈放射状排列的多个安装部，各安装部上均固装有加热器和坩埚。

11、所述安装腔内设置有遮盖各蒸发机构的隔板，所述隔板可拆卸地连接在安装腔上，隔板上开设有避让各蒸发机构的转动以及药液蒸发呈气态原子后朝向工件运动的豁口。

12、所述隔板设置为内窄外宽的开放式结构。

13、所述隔板设置为槽状狭缝结构，隔板上安装有加热件。

14、与现有技术相比，本发明的优点在于：

15、本发明的用于af膜的连续蒸发镀膜装置，通过设置多组蒸发机构和与蒸发机构一一对应的加液机构，各蒸发机构可轮流进行加热蒸镀以及冷却降温，实现连续生产，提高生产效率，将蒸发机构设置于旋转驱动机构上，蒸发机构接收药液后进行加热，达到蒸发温度后在通过旋转至朝向工件一侧进行蒸镀，避免药液从蒸发机构中滴落，降低成本。

1.一种用于af膜的连续蒸发镀膜装置，其特征在于：包括安装架(1)，所述安装架(1)上间隔布置有多组蒸发机构(2)，安装架(1)一侧设置有多组数量与蒸发机构(2)匹配的旋转旋转驱动机构(3)，另一侧设置有多组数量与蒸发机构(2)匹配的加液机构(4)，各所述蒸发机构(2)连接在对应旋转驱动机构(3)上，各所述旋转驱动机构(3)驱使蒸发机构(2)转动至加液机构(4)处接收药液后再驱使蒸发机构(2)转动以朝向工件(100)进行镀膜。

2.根据权利要求1所述的用于af膜的连续蒸发镀膜装置，其特征在于：所述安装架(1)包括架体(11)和安装腔(12)，各所述蒸发机构(2)布置在安装腔(12)内，各所述旋转驱动机构(3)和加液机构(4)布置在安装腔(12)两侧腔壁上。

3.根据权利要求2所述的用于af膜的连续蒸发镀膜装置，其特征在于：所述旋转驱动机构(3)包括驱动器(31)和转轴(32)，所述驱动器(31)固装在安装腔(12)腔壁上，所述转轴(32)连接在驱动器(31)的输出端上，所述蒸发机构(2)固接在转轴(32)上。

4.根据权利要求3所述的用于af膜的连续蒸发镀膜装置，其特征在于：所述加液机构(4)包括安装座(41)、药液瓶(42)和流量计(43)，所述安装座(41)固装在安装腔(12)在腔壁上，所述药液瓶(42)和流量计(43)固装在安装座(41)上，所述流量计(43)的进液端与药液瓶(42)的出液端连接，流量计(43)的出液端布置在对应蒸发机构(2)的上方。

5.根据权利要求4所述的用于af膜的连续蒸发镀膜装置，其特征在于：所述安装腔(12)内设置有限位固定流量计(43)出液端的固定台(121)，所述固定台(121)螺栓连接在安装腔(12)内。

6.根据权利要求5所述的用于af膜的连续蒸发镀膜装置，其特征在于：所述蒸发机构(2)包括旋转块(21)、加热器(22)和坩埚(23)，所述旋转块(21)一端与转轴(32)固定连接，另一端成型有安装部(211)，所述加热器(22)与坩埚(23)固装在安装部(211)上，所述安装部(211)两侧设置有圆弧形挡板(212)。

7.根据权利要求6所述的用于af膜的连续蒸发镀膜装置，其特征在于：所述旋转块(21)上成型有以连接点为圆心呈放射状排列的多个安装部(211)，各安装部(211)上均固装有加热器(22)和坩埚(23)。

8.根据权利要求2至7中任一项所述的用于af膜的连续蒸发镀膜装置，其特征在于：所述安装腔(12)内设置有遮盖各蒸发机构(2)的隔板(122)，所述隔板(122)可拆卸地连接在安装腔(12)上，隔板(122)上开设有避让各蒸发机构(2)的转动以及药液蒸发呈气态原子后朝向工件(100)运动的豁口。

9.根据权利要求8所述的用于af膜的连续蒸发镀膜装置，其特征在于：所述隔板(122)设置为内窄外宽的开放式结构。

10.根据权利要求8所述的用于af膜的连续蒸发镀膜装置，其特征在于：所述隔板(122)设置为槽状狭缝结构，隔板(122)上安装有加热件(5)。