一种氢掺杂氧化锌可见-近红外透明导电薄膜及其制备方法

1.一种氢掺杂氧化锌可见-近红外透明导电薄膜，其特征在于，其制备方法如下：利用磁控溅射，以氧化锌为靶材，并以混合有氢气和/或水蒸气的惰性气体为溅射气体，通过将溅射气体中氢气、水蒸气的总体积占比控制为2～10％，并控制溅射气压为0.2～1.2pa，溅射功率密度为3.0～5.0w·cm-2，即可在衬底上沉积得到氢掺杂氧化锌可见-近红外透明导电薄膜；

2.如权利要求1所述氢掺杂氧化锌可见-近红外透明导电薄膜，其特征在于，室温下，所述透明导电薄膜的载流子迁移率高于35cm2·v-1·s-1，方阻低于30ω·sq-1。

3.如权利要求1所述氢掺杂氧化锌可见-近红外透明导电薄膜，其特征在于，所述透明导电薄膜厚度为100～800nm。

4.如权利要求1－3任意一项所述氢掺杂氧化锌可见-近红外透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

5.如权利要求4所述制备方法，其特征在于，所述溅射时间为30～120分钟，相应得到的透明导电薄膜厚度为100～800nm。

6.如权利要求4所述制备方法，其特征在于，所述惰性气体为氩气、氦气中的至少一种。

7.如权利要求4所述制备方法，其特征在于，磁控溅射过程中，衬底温度为20～60℃。

8.如权利要求1－3任意一项所述氢掺杂氧化锌可见-近红外透明导电薄膜作为0.78μm～2.50μm波段透明导电薄膜的应用，其特征在于，该氢掺杂氧化锌可见-近红外透明导电薄膜在0.78μm～2.50μm波段的透过率不低于70％。

9.如权利要求1－3任意一项所述氢掺杂氧化锌可见-近红外透明导电薄膜作为0.38μm～0.78μm波段透明导电薄膜的应用，其特征在于，该氢掺杂氧化锌可见-近红外透明导电薄膜在0.38μm～0.78μm波段的透过率不低于60％。