一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法与流程

本发明涉及镀膜领域，更具体地说，它涉及一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法。

背景技术：

1、贵金属靶材有多种，常见有金、银、铂、钯、铑，其薄膜性能通常较为单一。

2、为了追求卓越的薄膜综合性能，贵金属合金靶材应运而生。贵金属靶材的制作难点，除了控制质量规格外，还有一个重要点就是低损耗的控制。晶粒大小是靶材的一个核心指标，镀膜时往往细小均匀的晶粒能够获得良好的薄膜。而控制晶粒常用的方法就是形变与退火工艺。由于贵金属合金靶材没有单质贵金属的较强的抗氧化能力，在退火过程中会出现氧化，甚至掉皮现象，这些氧化皮难以收集且提纯成本较高。

3、因此需要提出一种新的方案来解决这个问题。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，可以有效解决损耗问题且同时可满足晶粒要求。

2、本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，包括以下步骤：

3、s1：准备贵金属合金材料；

4、s2：将s1所述的贵金属合金材料放置于金属腔室，锁固密封；

5、s3：将s2所述的腔室进行抽真空；

6、s4：将s3所述的腔室通入高纯氢气；

7、s5：将s4所述的腔室进行升温加热并保温；

8、s6：将s5所述的腔室进行降温；

9、s7：将s6所述的腔室进行拆开，取出贵金属合金材料。

10、本发明进一步设置为：所述贵金属合金材料包括主成分贵金属，所述贵金属包括金、银、铂、钯、铑。

11、本发明进一步设置为：所述贵金属合金材料还包括主成分非贵金属，所述非贵金属包括铜、铝、镍、铁、锆。

12、本发明进一步设置为：在s3中，抽真空的真空度<0.01pa。

13、本发明进一步设置为：在s4中，氢气纯度>99.999％。

14、本发明进一步设置为：在s5中，升温速率>500℃/h。

15、本发明进一步设置为：在s5中，保温时间30～200min。

16、本发明进一步设置为：在s6中，降温速率>100℃/h。

17、综上所述，本发明具有以下有益效果：降低甚至消除贵金属合金材料在退火过程中会出现的氧化皮，从而降低贵金属合金材料的制作成本。

1.一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：所述贵金属合金材料包括主成分贵金属，所述贵金属包括金、银、铂、钯、铑。

3.根据权利要求1或2所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：所述贵金属合金材料还包括主成分非贵金属，所述非贵金属包括铜、铝、镍、铁、锆。

4.根据权利要求1所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：在s3中，抽真空的真空度<0.01pa。

5.根据权利要求1所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：在s4中，氢气纯度>99.999％。

6.根据权利要求1所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：在s5中，升温速率>500℃/h。

7.根据权利要求1或6所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：在s5中，保温时间30～200min。

8.根据权利要求1所述的一种贵金属合金材料超低损耗的退火方法，其特征在于：在s6中，降温速率>100℃/h。