行星轮载片的制作方法

本申请涉及磁体制备领域，尤其涉及一种行星轮载片。

背景技术：

1、双面抛光机是用于半导体硅片、磁性材料、蓝宝石、光学玻璃、金属材料及其它硬脆材料的双面高精度高效率的抛光加工设备。行星轮载片作为双面抛光机的夹具，常用的材质有金属和非金属两种。对厚度较薄的钕铁硼磁体抛光加工时，行星轮载片常采用非金属的树脂材质，但且树脂材质的使用寿命有限，存在不耐磨的问题。

技术实现思路

1、基于上述问题，本申请提供了一种行星轮载片，耐磨损性好，提高了行星轮载片的寿命。

2、本申请的一个实施例提供一种行星轮载片，包括：

3、承载件，设置有切削液孔和工件孔；

4、齿轮件，设置有与所述承载件相适配的承载件孔，所述齿轮件的外壁设置有多个轮齿，所述齿轮件能够带动所述承载件转动；

5、所述承载件的外壁包括多个第一平面，所述承载件孔的孔壁包括分别与多个所述第一平面相适配的多个第二平面。

6、根据本申请的一些实施例，所述承载件的外径为85～105mm，所述齿轮件的外径为115～125mm。

7、根据本申请的一些实施例，所述第一平面的长度为35～42mm。

8、根据本申请的一些实施例，所述切削液孔的数量为多个。

9、根据本申请的一些实施例，所述切削液孔的孔径为20～28mm。

10、根据本申请的一些实施例，所述承载件孔为锥孔，所述承载件孔的母线与所述齿轮件的中心线的夹角为10°～30°。

11、根据本申请的一些实施例，所述承载件的厚度大于所述齿轮件的厚度。

12、根据本申请的一些实施例，所述工件孔的数量为多个，多个所述工件孔绕所述承载件的中心线圆周均布。

13、根据本申请的一些实施例，所述切削液孔相对所述工件孔靠近所述承载件的中心。

14、本申请的行星轮载片，承载件采用非金属材质，齿轮件采用金属材质，提高了行星轮载片的耐磨性，行星轮载片的寿命较长，有利于降低生产成本。

1.一种行星轮载片，包括：

2.根据权利要求1所述的行星轮载片，其特征在于，所述承载件的外径为85～105mm，所述齿轮件的外径为115～125mm。

3.根据权利要求2所述的行星轮载片，其特征在于，所述第一平面的长度为35～42mm。

4.根据权利要求1所述的行星轮载片，其特征在于，所述切削液孔的数量为多个。

5.根据权利要求4所述的行星轮载片，其特征在于，所述切削液孔的孔径为20～28mm。

6.根据权利要求1所述的行星轮载片，其特征在于，所述承载件孔为锥孔，所述承载件孔的母线与所述齿轮件的中心线的夹角为10°～30°。

7.根据权利要求1所述的行星轮载片，其特征在于，所述承载件的厚度大于所述齿轮件的厚度。

8.根据权利要求1所述的行星轮载片，其特征在于，所述工件孔的数量为多个，多个所述工件孔绕所述承载件的中心线圆周均布。

9.根据权利要求8所述的行星轮载片，其特征在于，所述切削液孔相对所述工件孔靠近所述承载件的中心。