一种真空炉的集成控制系统的制作方法

1.一种真空炉的集成控制系统，其特征在于：包括数据收集模块、数据处理模块、数据分析模块、输出模块以及预警模块；

2.根据权利要求1所述的一种真空炉的集成控制系统，其特征在于：所述实时炉内温度数据集表达式为、实时炉内真空度数据集表达式为、实时炉内气体流量数据集表达式为、实时排放气体浓度数据集表达式为以及实时排放气体温度数据集表达式为，且每个数据集中的数据个数相同、采集周期相同、数据集内每个数据间隔的时间相同，各个数据集中的下标表示各个数据集中的数据有个。

3.根据权利要求2所述的一种真空炉的集成控制系统，其特征在于：所述炉内温度波动值算法表达式如下：

4.根据权利要求3所述的一种真空炉的集成控制系统，其特征在于：所述炉内真空度波动值算法表达式如下：

5.根据权利要求4所述的一种真空炉的集成控制系统，其特征在于：所述炉内气体流量波动值算法表达式如下：

6.根据权利要求5所述的一种真空炉的集成控制系统，其特征在于：所述清洗后的实时排放气体浓度算法表达式如下：

7.根据权利要求6所述的一种真空炉的集成控制系统，其特征在于：所述清洗后的实时排放气体温度算法表达式如下：

8.根据权利要求7所述的一种真空炉的集成控制系统，其特征在于：所述数据分析模块将炉内温度波动值、炉内真空度波动值以及炉内气体流量波动值分别与炉内温度波动值阈值、炉内真空度波动值阈值以及炉内气体流量波动值阈值作对比，当炉内温度波动值超过炉内温度波动值阈值时，判定炉内温度过高，当炉内真空度波动值超过炉内真空度波动值阈值时，判定炉内真空度不足，当炉内气体流量波动值超过炉内气体流量波动值阈值时，判定炉内气体流量过大。

9.根据权利要求8所述的一种真空炉的集成控制系统，其特征在于：所述数据分析模块将清洗后的实时排放气体浓度以及清洗后的实时排放气体温度分别与排放气体浓度标准值以及排放气体温度标准值作对比，当清洗后的实时排放气体浓度大于排放气体浓度标准值时，判定有害气体处理不合格，当清洗后的实时排放气体温度大于排放气体温度标准值时，判定排放气体温度过高。

10.根据权利要求9所述的一种真空炉的集成控制系统，其特征在于：所述数据分析模块将对比结果通过网络发送至输出模块，当炉内温度波动值、炉内真空度波动值以及炉内气体流量波动值任一数值超过对应的阈值或清洗后的实时排放气体浓度以及清洗后的实时排放气体温度大于对应的标准值时，所述输出模块将异常信号通过网络发送至预警模块，所述预警模块发出预警并将异常信号及时反馈给工作人员，便于工作人员及时做出相应的措施。