一种蜂窝CMP化学机械抛光垫及其制备工艺的制作方法

1.一种蜂窝cmp化学机械抛光垫的制备工艺，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的蜂窝cmp化学机械抛光垫的制备工艺，其特征在于，所述发泡剂为水。

3.根据权利要求1所述的蜂窝cmp化学机械抛光垫的制备工艺，其特征在于，所述表面活性剂为重量比（0.3-0.6）：1：（1.4-1.7）的壬基酚聚氧乙烯醚np-10、吐温60和司盘80。

4.根据权利要求1所述的蜂窝cmp化学机械抛光垫的制备工艺，其特征在于，二异氰酸酯包括二环己基甲烷二异氰酸酯、六亚甲基二异氰酸酯、异佛尔酮二异氰酸酯中的一种或多种。

5.根据权利要求1所述的蜂窝cmp化学机械抛光垫的制备工艺，其特征在于，杂环二元醇为1,5,9,13-四硫杂环十六烷-3,11-二醇。

6.根据权利要求1所述的蜂窝cmp化学机械抛光垫的制备工艺，其特征在于，所述多元醇为重量比（1.2-1.5）：1：（0.4-0.6）的改性聚醚多元醇、聚醚多元醇a和聚醚多元醇b。

7.根据权利要求6所述的蜂窝cmp化学机械抛光垫的制备工艺，其特征在于，聚醚多元醇a为羟值385-405mgkoh/g，25℃粘度6000-10000mpa.s的聚醚多元醇；聚醚多元醇b为羟值400-460mgkoh/g，25℃粘度2500-4000mpa.s的聚醚多元醇。

8.根据权利要求6所述的蜂窝cmp化学机械抛光垫的制备工艺，其特征在于，所述改性聚醚多元醇的制备方法包括以下步骤：将28重量份1,9-壬二醇和0.85-0.90重量份氢氧化钾混合，在氮气氛围下，脱水后，升温至107-110℃，压力为0.1-0.3mpa条件下，加入177-180重量份环氧丙烷和440-445重量份环氧丁烷，反应40-50min，脱除未反应的原料，降至室温，中和至ph为7，得到改性聚醚多元醇。

9.一种根据权利要求1-8任一项所述的制备工艺制备制得的蜂窝cmp化学机械抛光垫。

10.根据权利要求9所述的蜂窝cmp化学机械抛光垫，其特征在于，所述蜂窝cmp化学机械抛光垫的厚度为1.5-2.0mm。