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一种自动充气的汇流排及使用方法与流程

2025-07-18 10:40:06 363次浏览

技术特征:

1.一种自动充气的汇流排,其特征在于:包括主气道(1)和副气道(2),主气道(1)和副气道(2)汇集处为送气端;

2.根据权利要求1所述的一种自动充气的汇流排,其特征在于:连通气道上单向阀(31)前侧串联有高压串通阀(32)。

3.根据权利要求1所述的一种自动充气的汇流排,其特征在于:主气道和副气道上分别设有排气阀一(15)和排气阀二(25)。

4.根据权利要求1所述的一种自动充气的汇流排,其特征在于:还包括换罐预警模块,换罐预警模块用于预测主气罐(11)下一检测周期的内部气压值,并基于预测结果提前发出换罐提示,换罐预警模块包括:

5.根据权利要求4所述的一种自动充气的汇流排,其特征在于:基于数据采集单元的采集结果,计算每个检测周期对应的气压波动系数:

6.根据权利要求5所述的一种自动充气的汇流排,其特征在于:换罐预测矩阵构建单元包括:

7.根据权利要求4所述的一种自动充气的汇流排,其特征在于:基于换罐预测矩阵预测主气罐(11)下一检测周期的内部气压值:

8.根据权利要求1所述的一种自动充气的汇流排,其特征在于:还包括泄漏预警模块,泄漏预警模块包括:

9.根据权利要求8所述的一种自动充气的汇流排,其特征在于:基于纹影成像采集单元和氢气浓度采集单元的采集结果,进行主气罐的实际泄漏系数计算:

10.一种自动充气的汇流排使用方法,用于使用如权利要求1-9任一项所述的一种自动充气的汇流排进行自动充气,其特征在于:包括以下步骤:


技术总结
本发明提供了一种自动充气的汇流排及使用方法,涉及MOCVD设备中的氢气汇流排技术领域,汇流排包括主气道和副气道,主气道和副气道汇集处为送气端;主气道上依次安装有主气罐、主高压阀门、主减压器和主低压阀门,副气道上依次安装有副气罐、副高压阀门、副减压器和副低压阀门;在主气道的主高压阀门输出端与副气道的副高压阀门输出端之间设有连通气道,连通气道上设有单向阀。本发明解决了现有充气系统至少需要两组气罐轮换,且在使用过程中在某一气罐缺气后需对其进行更换,每多更换一个气罐就会增加一份泄漏概率,安全风险较大的技术问题。

技术研发人员:刘祥林,石超,李成明,杨少延,崔草香,朱瑞平,郭柏君,陈兆显,李晓东
受保护的技术使用者:国鲸合创(青岛)科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/11/26
文档序号 : 【 40126615 】

技术研发人员:刘祥林,石超,李成明,杨少延,崔草香,朱瑞平,郭柏君,陈兆显,李晓东
技术所有人:国鲸合创(青岛)科技有限公司

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刘祥林石超李成明杨少延崔草香朱瑞平郭柏君陈兆显李晓东国鲸合创(青岛)科技有限公司
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