CrmN/TixAlyN/AlaCrbSicVdNe纳米复合涂层及其制备方法和包含其的工具与流程
技术特征：
1.一种结合于基体表面上的crmn/tixalyn/alacrbsicvdne纳米复合涂层，其特征在于，该纳米复合涂层包含沉积于所述基体表面上的crmn过渡层，和沉积于所述crmn过渡层表面上的具有一个或多个周期性结构的tixalyn/alacrbsicvdne复合多层，其中所述tixalyn/alacrbsicvdne复合多层的一个周期包含内层的tixalyn层和外层的alacrbsicvdne层，
2.根据权利要求1所述的crmn/tixalyn/alacrbsicvdne纳米复合涂层，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的crmn/tixalyn/alacrbsicvdne纳米复合涂层，其特征在于，所述基体选自硬质合金、高速钢和刚玉中的任何一种。
4.根据权利要求1所述的crmn/tixalyn/alacrbsicvdne纳米复合涂层，其特征在于，所述具有周期性结构的tixalyn/alacrbsicvdne复合多层的周期数为1、2、3或4。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的crmn/tixalyn/alacrbsicvdne纳米复合涂层，其特征在于，所述复合涂层包含面心立方结构的aln、crn、vn相和密排六方结构的aln相，以及si的氮化物非晶相。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的crmn/tixalyn/alacrbsicvdne纳米复合涂层，其特征在于，所述纳米复合涂层具有以下性能中的一种或多种：硬度在29.4±1.5gpa范围内，弹性模量在384.4±12.3gpa范围内，结合力达到54n以上，硬度/弹性模量的比值达到0.0765以上，和摩擦系数为小于0.6。
7.一种制备根据权利要求1至6中任一项所述的crmn/tixalyn/alacrbsicvdne纳米复合涂层的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，
9.根据权利要求7或8所述的制备方法，其特征在于，所述方法包括在所述步骤2后进行步骤3，该步骤3包括在得自步骤2的所述alacrbsicvdne层上通过电弧离子镀进一步依次沉积所述tixalyn层和所述alacrbsicvdne层1次、2次或3次。
10.一种工具，优选切削工具，其特征在于，该工具包含根据权利要求1至6中任一项所述的crmn/tixalyn/alacrbsicvdne纳米复合涂层或者根据权利要求7至9中任一项所述的制备方法制备的crmn/tixalyn/alacrbsicvdne纳米复合涂层。
技术总结
本发明涉及物理气相沉积纳米复合涂层技术领域。具体地，本发明涉及Cr<subgt;m</subgt;N/Ti<subgt;x</subgt;Al<subgt;y</subgt;N/Al<subgt;a</subgt;Cr<subgt;b</subgt;Si<subgt;c</subgt;V<subgt;d</subgt;N<subgt;e</subgt;纳米复合涂层及其制备方法。本发明还涉及包含所述Cr<subgt;m</subgt;N/Ti<subgt;x</subgt;Al<subgt;y</subgt;N/Al<subgt;a</subgt;Cr<subgt;b</subgt;Si<subgt;c</subgt;V<subgt;d</subgt;N<subgt;e</subgt;纳米复合涂层的工具。通过本发明的方法制备的Cr<subgt;m</subgt;N/Ti<subgt;x</subgt;Al<subgt;y</subgt;N/Al<subgt;a</subgt;Cr<subgt;b</subgt;Si<subgt;c</subgt;V<subgt;d</subgt;N<subgt;e</subgt;纳米复合涂层综合性地利用了Al<subgt;a</subgt;Cr<subgt;b</subgt;Si<subgt;c</subgt;V<subgt;d</subgt;N<subgt;e</subgt;层的高耐磨性和热稳定性、Ti<subgt;x</subgt;Al<subgt;y</subgt;N层的优秀的硬度和韧性以及Cr<subgt;m</subgt;N过渡层的高附着力等特点，从而使得本发明的纳米复合涂层在具备较好的硬度、结合力和韧性等综合力学性能的同时还能兼顾优异的润滑性能。
技术研发人员：张凤戈,郭桦帅,魏铁峰,孟晓亭,张欠男,缪磊
受保护的技术使用者：苏州六九新材料科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/11/21
技术研发人员：张凤戈,郭桦帅,魏铁峰,孟晓亭,张欠男,缪磊
技术所有人：苏州六九新材料科技有限公司
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