一种抛光设备的制作方法
技术特征:
1.一种抛光设备,其特征在于,包括设备主体,所述设备主体包括:
2.根据权利要求1所述的一种抛光设备,其特征在于,所述载体为圆柱体,所述承载面为圆柱体的圆弧侧面。
3.根据权利要求1所述的一种抛光设备,其特征在于,所述连接部与抛光垫的连接方式为粘接、磁吸、或卡扣连接。
4.根据权利要求2所述的一种抛光设备,其特征在于,在铺设抛光垫时,所述抛光盘和抛光垫之间形成一夹角空间;所述抛光设备还包括除尘机构,所述除尘机构用对夹角空间除尘,所述除尘机构包括:
5.根据权利要求4所述的一种抛光设备,其特征在于,所述气流通道与所述受力段之间间距为l,其中,5cm≤l≤20cm。
6.根据权利要求4所述的一种抛光设备,其特征在于,还包括驱动机构,所述驱动机构用于驱动所述载体沿第三方向移动并旋转;且所述驱动机构用于驱动所述喷头沿第三方向移动。
7.根据权利要求1所述的一种抛光设备,其特征在于,所述载体具有多个气囊,所述气囊呈长直状,所述气囊设置于所述载体的承载面上,所述气囊与所述载体的轴向平行或基本平行。
8.根据权利要求7所述的一种抛光设备,其特征在于,所述载体内部中空,且所述载体的承载面上设置有多个安装通道,所述安装通道和所述载体的内部连通,所述气囊沿载体的截面半径方向上活动连接于所述安装通道上,使得所述气囊可沿载体的截面半径方向活动;
9.根据权利要求8所述的一种抛光设备,其特征在于,所述安装通道上设置有若干限位板,所述限位板之间设置有活动板,所述活动板上连接有所述气囊,所述气囊位于活动板的远离所述载体轴向的一侧,以使得所述活动板和所述气囊可在所述限位板之间活动。
10.根据权利要求9所述的一种抛光设备,其特征在于,所述平衡块长度与所述载体长度相等或基本相等,且所述平衡块的底面设置有一滑动面,所述滑动面形状与所述载体的内壁相符,以使得载体在滚动时所述平衡块处于所述载体的最低点上或具有向最低点移动的趋势。
技术总结
本申请涉及半导体抛光技术领域,尤其是涉及一种抛光设备,包括设备主体,设备主体包括抛光盘;布设机构,所述布设机构用于抛光盘上布设抛光垫。本申请提供一种抛光设备,解决了如何提高抛光垫粘贴品质的技术问题,达到有效提高抛光垫粘贴品质的技术效果。
技术研发人员:朱亮,李阳健,郑猛,黄金涛,韩鹏飞
受保护的技术使用者:浙江求是半导体设备有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/11/21
技术研发人员:朱亮,李阳健,郑猛,黄金涛,韩鹏飞
技术所有人:浙江求是半导体设备有限公司
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