温度调节电路、阻抗匹配器及等离子体产生设备的制作方法

1.一种温度调节电路，应用于等离子体产生设备，所述等离子体产生设备包括多个阻抗匹配电路和等离子体腔室，所述等离子体腔室具有用于与所述阻抗匹配电路的输出端电连接的电极，其特征在于，所述温度调节电路包括：

2.如权利要求1所述的温度调节电路，其特征在于，所述温度检测电路包括：

3.如权利要求2所述的温度调节电路，其特征在于，所述温度调节电路还包括：

4.如权利要求3所述的温度调节电路，其特征在于，所述第一放大器电路包括：

5.如权利要求3所述的温度调节电路，其特征在于，所述温度调节电路还包括：

6.如权利要求3所述的温度调节电路，其特征在于，所述开关电路包括：

7.如权利要求6所述的温度调节电路，其特征在于，所述第一开关管为mos管、三极管或igbt管的其中一种。

8.如权利要求1所述的温度调节电路，其特征在于，所述温度调节电路还包括：

9.一种阻抗匹配器，其特征在于，包括多个阻抗匹配电路和如权利要求1至8任一项所述的温度调节电路。

10.一种等离子体产生设备，其特征在于，包括等离子体腔室和如权利要求9所述的阻抗匹配器。