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一种半导体测试方法、电子设备、半导体检测系统及介质与流程

2026-08-22 12:20:07 308次浏览

技术特征:

1.一种半导体测试方法,其特征在于,应用于半导体检测系统,所述半导体检测系统部署有探针和载片台,所述载片台用于放置待测半导体;所述方法包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述探针触压在所述第二待测单元的压力,确定接触结果,包括:

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述根据所述探针触压在所述第二待测单元的压力,确定接触结果之后,所述方法还包括:

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述若所述接触结果表示所述探针与所述第二待测单元已接触到位,则停止所述探针和所述载片台的移动,并利用所述探针对所述第二待测单元进行测试,包括:

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述基于所述电性能数据和所述光性能数据确定所述第二待测单元的检测结果,包括:

6.根据权利要求1至5任一项所述的方法,其特征在于,所述在所述探针脱离接触所述第一待测单元之后,按照第三预设方向移动所述载片台,包括:

7.根据权利要求1至5任一项所述的方法,其特征在于,所述在所述探针脱离接触所述第一待测单元之后,按照第三预设方向移动所述载片台,包括:

8.一种电子设备,其特征在于,所述电子设备包括存储器和处理器,所述存储器存储有计算机程序,所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至7任一项所述的方法。

9.一种半导体检测系统,其特征在于,包括:

10.一种计算机可读存储介质,所述计算机可读存储介质存储有计算机程序,其特征在于,所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至7中任一项所述的方法。


技术总结
本申请实施例提供了一种半导体测试方法、电子设备、半导体检测系统及介质,属于半导体测试技术领域。该方法包括:测量相邻待测单元之间的距离以确定目标距离,然后按照第一预设方向移动探针,同时按照第二预设方向移动载片台,且在探针脱离接触第一待测单元之后,按照第三预设方向移动载片台,检测到探针和载片台的相背间距大于或等于预设相背间距,则按照第二预设方向移动探针,且按照第一预设方向移动载片台,且载片台在向第三预设方向移动目标距离之后停止,然后根据探针的压力,确定接触结果,若接触结果表示探针与第二待测单元已接触到位,则停止探针和载片台,并利用探针对第二待测单元进行测试。本申请实施例能够提高半导体测试的效率。

技术研发人员:吴贵阳,刘兴波
受保护的技术使用者:矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/12/2
文档序号 : 【 40200784 】

技术研发人员:吴贵阳,刘兴波
技术所有人:矽电半导体设备(深圳)股份有限公司

备 注:该技术已申请专利,仅供学习研究,如用于商业用途,请联系技术所有人。
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吴贵阳刘兴波矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
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