一种石英的间断式清洗方法与流程

本发明涉及石英加工，尤其涉及一种石英的间断式清洗方法。

背景技术：

1、随着半导体器件和集成电路的制造的集成度不断提高，器件的特征尺寸越小，对晶圆表面洁净度要求越来越高，接触或靠近芯片的部件或半导体反应器的洁净度的要求也不断提高。因半导体反应器或部件表面的污染如颗粒污染，金属污染，在光刻或刻蚀过程中也很容易造成晶片内电路功能损坏，导致整批芯片报废或流程不畅。

2、例如公开号“cn108838154a”，公开了“一种石英矿开采用石英清洗装置”，包括底座、滑块、升降架、清洗槽、清洗箱和驱动电机，所述升降架上侧设有清洗槽，所述左连接板和右连接板之间设有清洗箱，左卡块嵌入安装在清洗箱的左侧，清洗箱的底部设有网兜，所述右连接板的右侧通过螺钉固定安装有电机支架，电机支架的后侧固定安装有驱动电机，驱动电机的输出轴向前且驱动电机的输出轴上过盈配合安装有异形齿轮。但是在实际应用中，该种方法清洗较为单一，无法保证清洗质量，同时无法及时清洗过程中产生的杂质。

技术实现思路

1、针对背景技术中提到的现有技术存在清洗质量不达标无法及时清洗杂质的问题，本发明提供了一种石英的间断式清洗方法，能够通过不同的分类处理槽进行不同功能的清洗处理，提高清洗质量，同时能够及时对处理过程中产生的杂质进行快速清洗，避免杂质在不同的分类处理槽中混杂。

2、为实现上述目的，本发明采用以下技术方案。

3、一种石英的间断式清洗方法，有若干个分类处理槽，将产品放进至各个分类处理槽中进行产品处理，将产品从其一分类处理槽中取出后，将产品送至冲洗部中进行纯水冲洗，随后将纯水冲洗结束的产品转交至下一分类处理槽中进行产品处理。

4、本技术中，通过设置多个分类处理槽，能够将提高对于产品的处理效果，在不同的分类处理槽中进行不同种类的清洗作业，保证清洗的精准性，同时从一种类型或一个分类处理槽中取出后，经过冲洗部进行纯水冲洗之后再转移至下一个工序中，从而能够避免出现杂质交叉污染分类处理槽的情况，并且保证每个分类处理槽对于产品清洗的洁净性，通过纯水冲洗带走分类处理槽中反应形成的杂质，其中不同种类的分类处理槽可以设置一个或是多个，因此冲洗部可以根据需要设置在各个不同种类或是各个不同的分类处理槽之间。

5、各个所述分类处理槽围成环形结构形成环形处理圈，所述冲洗部设置在环形处理圈的中心区域，产品从环形处理圈中的其一分类处理槽中取出后，朝向中心区域进行输送，在冲洗部中完成纯水冲洗后，朝向环形处理圈中的下一分类处理槽中进行输送。

6、各个处于环形排列上的分类处理槽形成了环形处理圈，在环形处理圈的内环中间区域上设置冲洗部，在中心区域上仅设置有一个冲洗部，各个分类处理槽将中心区域包围。使得各个分类处理槽之间需要进行纯水冲洗的冲洗部自始至终设置为一个，在冲洗部上采用的纯水快冲快排的作业，通过设置在中心区域上的一个冲洗部来多个冲洗部，节省了成本，能够大量节省空间，且环形排列中不可避免形成的中心区域也通过放置冲洗部进行了充分利用。

7、在中心区域上设置有若干冲洗部，在所述中心区域和环形处理圈上同时进行若干个产品的同步处理。设置有多个冲洗部，各个冲洗部位于中心区域上也形成一个环形结构，因此在工作过程中能够实现多个每个分类处理槽上均能够同步进行产品的处理作业，随后在各自分类处理槽上对应的冲洗部进行冲洗，提高了冲洗效率。

8、在各个分类处理槽周侧设置有对应的输送冲洗桶，将产品从其一分类处理槽中取出后，将产品放置在对应该分类处理槽的输送冲洗桶中，所述输送冲洗桶带动产品输送至冲洗部中进行纯水冲洗，冲洗结束后，输送冲洗桶带动产品输送至下一分类处理槽中，输送完成后输送冲洗桶返回至对应分类处理槽周侧位置。通过设置可移动的输送冲洗桶，使得各个不同的分类处理槽处理之后的产品能够在对应的输送冲洗桶上进行运输，避免了交叉污染，同时在中心区域上的冲洗部也只设置一个，通过不同的输送冲洗桶在冲洗部上进行错位进出，并且根据不同的分类处理槽上的处理时间保证错位进出的流畅性，从而既能够实现多个产品同步进行清洗，同时减少冲洗部上的冲洗装置和排水装置的设置，各个输送冲洗桶均在同一个冲洗部上进行错时的清洗操作。

9、所述冲洗部上设置有淋洒喷头，所述输送冲洗桶带动产品运动至淋洒喷头下方进行纯水冲洗。

10、所述输送冲洗桶设置有镂空区，所述镂空区排出洗涤后的纯水。通过镂空区对输送冲洗桶中冲洗的纯水进行快速排出。

11、所述冲洗部包括冲洗槽，所述冲洗槽包括有存水外层和移动内层，所述移动内层上设置有若干过水孔，将产品放置在移动内层中，并在存水外层或移动内层中注入纯水，同时移动内层相对存水外层运动，移动内层挤压存水外层中纯水，纯水填充移动内层与存水外层之间的间隙并经过水孔进入移动内层中冲洗产品。冲洗部包括有冲洗槽，其中冲洗槽分为内外两侧，分别是移动内层和存水外层，移动内层上设置有若干个过水孔，其中过水孔能够使水流经过。由于存水外层此时能够存水，因此纯水在存水外层的底部进行储存，当储存在一定量后，移动内层向下挤压会将存水外层中的储水挤压通过过水孔，在各个过水孔上形成喷射的水柱，随移动内层内部的产品进行冲洗，在此过程中能够对之前存水外层中的储水进行重复利用，节省了清洁过程中的水资源，同时提高清洗质量，进行全方位的清洗，且通过小孔和较大的挤压力能够保证从过水孔中喷射的水柱流速较快，提高清洗效果。

12、移动内层包括有底板和侧板，所述底板和侧板上均设置有过水孔，所述侧板上的过水孔设置高度高于产品高度，所述底板上设置有支撑产品的镂空支架。将移动内层向下运动，移动内层在向下运动过程中能够挤压存水外层内部的储水，一部分储水经过底板上的过水孔从底板向上喷涌对产品的底部进行清洗，一部分会顺着存水外层与移动内层之间的间隙流至侧板周围，随着移动内层的快速向下挤压，使得移动内层和存水外层之间的间隙不断减小，因此部分水流也会从侧板上的过水孔中排出，从而实现对于产品的侧边清洗。

13、各个所述过水孔均朝向产品的放置位置倾斜，在移动内层挤压纯水时，各个所处过水孔朝向产品倾斜喷水。将侧板上的过水孔朝向产品一侧倾斜，即形成了侧板上部过水孔向下倾斜，侧板中间过水孔横向设置，侧板底部过水孔朝上倾斜分布状态，从而保证从过水孔中喷射的水流能够对齐产品进行清洗，避免水流存在部分无法清洗的情况，同时保证出水更加符合储水的挤压流动方向。

14、所述侧板上设置有若干防溢板，各个所述防溢板与存水外层之间滑动连接并密封，各个所述防溢板上错位设置有出气孔。防溢板与存水外层之间滑动连接，并且设计密封，同时在防溢板上设置有出气孔，由于存在多个防溢板，因此将各个防溢板上的出气孔错位设置，在保证排气流畅的基础上，避免了侧板与存水外层中的储水从两者之间的间隙中排出。

15、本发明的有益效果如下：

16、(1)能够通过不同的分类处理槽进行不同功能的清洗处理，提高清洗质量，同时能够及时对处理过程中产生的杂质进行快速清洗，避免杂质在不同的分类处理槽中混杂；

17、(2)通过设置在中心区域上的一个冲洗部来多个冲洗部，节省了成本，能够大量节省空间，且环形排列中不可避免形成的中心区域也通过放置冲洗部进行了充分利用；

18、(3)通过不同的输送冲洗桶在冲洗部上进行错位进出，并且根据不同的分类处理槽上的处理时间保证错位进出的流畅性，从而既能够实现多个产品同步进行清洗，同时减少冲洗部上的冲洗装置和排水装置的设置，各个输送冲洗桶均在同一个冲洗部上进行错时的清洗操作；

19、(4)通过在移动内层上设置过水孔，使得能够对之前存水外层中的储水进行重复利用，节省了清洁过程中的水资源，同时提高清洗质量，进行全方位的清洗。