一种双台面协调平面运动的自动滑台装置的制作方法

本发明涉及芯片测试，特别涉及一种双台面协调平面运动的自动滑台装置。

背景技术：

1、红外探测器芯片进行性能测试时，需要多个不同温度的黑体对芯片进行照射，进而对不同温度下的芯片进行性能检测，以实现芯片的筛选。

2、测试过程中，需要移动黑体或待测芯片，以使芯片的位置与黑体的位置相对应。若在测试时将黑体的位置固定，故确保芯片每次均能够移动至预定位置则是影响测试的关键因素。目前大多需要手动移动芯片的位置，而在手动移动芯片时，往往会使芯片发生一定的位移和偏转，使得每次移动位置的一致性较低，进而影响芯片的测试结果。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种双台面协调平面运动的自动滑台装置，该装置能够通过两个移动滑台自动驱动双测试工装移动，以提升测试工装的重复定位精度，并可精准定位驻停，进而实现红外探测器芯片的自动化测试。

2、为实现上述目的，本发明提供一种双台面协调平面运动的自动滑台装置，包括底板、左移动滑台和右移动滑台；所述左移动滑台和所述右移动滑台均固定在所述底板上；所述左移动滑台用于承载左测试工装，所述右移动滑台用于承载右测试工装；

3、所述双台面协调平面运动的自动滑台装置具有左第一测试位、右第一测试位、至少一个共用测试位、左零位和右零位；所述左移动滑台用于带动所述左测试工装在所述左零位、所述左第一测试位和所有所述共用测试位之间往复移动，所述右移动滑台用于带动所述右测试工装在所述右零位、所述右第一测试位和所有所述共用测试位之间往复移动。

4、可选的，所述共用测试位包括为共用第二测试位和共用第三测试位，所述左第一测试位、所述共用第二测试位、所述共用第三测试位和所述右第一测试位在x轴方向上依次间隔设置。

5、可选的，所述左零位与所述左第一测试位的连线平行于y轴；所述左移动滑台用于从所述左零位依次经过所述左第一测试位、所述共用第二测试位和所述共用第三测试位后返回所述左零位；

6、所述右零位与所述左第一测试位的连线平行于y轴；所述左零位和所述右零位关于y轴对称设置；所述右移动滑台从所述右零位依次经过所述右第一测试位、所述共用第三测试位和所述共用第二测试位后返回所述右零位。

7、可选的，所述左移动滑台包括左x轴移动电机、左y轴移动电机和左x轴移动平台；所述左x轴移动电机固定在所述底板上，并用于带动所述左x轴移动平台在x轴方向上移动；所述左y轴移动电机固定在所述左x轴移动平台的后端；所述左x轴移动电机用于驱动所述左测试工装在x轴方向移动，所述左y轴移动电机用于驱动所述左测试工装在y轴方向移动；

8、所述右移动滑台包括右x轴移动电机、右y轴移动电机和右x轴移动平台；所述右x轴移动电机固定在所述底板上，并用于带动所述右x轴移动平台在x轴方向上移动；所述右y轴移动电机固定在所述右x轴移动平台的后端；所述右x轴移动电机用于驱动所述右测试工装在x轴方向移动，所述右y轴移动电机用于驱动所述右测试工装在y轴方向移动。

9、可选的，所述双台面协调平面运动的自动滑台装置还包括左限位、左前限位、左后限位、右限位、右前限位和右后限位；

10、其中，所述左限位用于限定所述左测试工装芯片在x轴方向上朝左移动的极限位置；所述左前限位用于限定所述左测试工装在y轴方向上移动的前极限位置，所述左后限位用于限定所述左测试工装在y轴方向上移动的后极限位置；

11、所述右限位用于限定所述右测试工装在x轴方向上朝右移动的极限位置；所述右前限位用于限定所述右测试工装在y轴方向上移动的前极限位置，所述右后限位用于限定所述右测试工装在y轴方向上移动的后极限位置。

12、可选的，所述左x轴移动电机、所述右x轴移动电机、所述左y轴移动电机和所述右y轴移动电机均为步进电机；

13、所述左x轴移动电机通过限定转动步数而使所述左测试工装驻停在所述共用第二测试位和所述共用第三测试位；所述右x轴移动电机通过限定转动步数而使所述右测试工装驻停在所述共用第二测试位和所述共用第三测试位。

14、可选的，所述双台面协调平面运动的自动滑台装置还包括黑体，所述黑体的数量为多个，所述左第一测试位、所述右第一测试位和每个所述共用测试位均对应设置有一个所述黑体。

15、可选的，所述双台面协调平面运动的自动滑台装置还包括控制设备，所述控制设备分别与所述左移动滑台和所述右移动滑台通信连接，所述控制设备用于分别控制所述左移动滑台和所述右移动滑台的往复移动。

16、可选的，所述控制设备包括左测试工位和右测试工位；所述左测试工位用于控制所述左移动滑台移动，所述右测试工位用于控制所述右移动滑台移动。

17、可选的，所述双台面协调平面运动的自动滑台装置还包括自动滑台控制板，所述自动滑台控制板分别与所述左测试工位和所述右测试工位通信连接，并分别与所述左移动滑台和所述右移动滑台通信连接；所述自动滑台控制板用于在所述左测试工位的控制下驱动所述左移动滑台移动，并用于在所述右测试工位的控制下驱动所述右移动滑台移动。

18、可选的，所述左测试工位能够通过所述自动滑台控制板获取所述右移动滑台的移动位置，并能够在所述左移动滑台与所述右移动滑台的移动路径发生干涉时控制所述右移动滑台移出干涉路径；

19、所述右测试工位能够通过所述自动滑台控制板获取所述左移动滑台的移动位置，并能够在所述右移动滑台与所述左移动滑台的移动路径发生干涉时控制所述左移动滑台移出干涉路径。

20、本发明提供一种双台面协调平面运动的自动滑台装置，该自动滑台装置能够通过两个移动滑台自动驱动双测试工装移动，以此完成测试工装的双测试位并行测试。相比于手动调节移动滑台的位置，自动调节滑台的位置重复定位精度高，还可精准定位驻停，如此可大幅提升测试工装每次移动的定位精度，进而实现红外探测器芯片的自动化测试。

1.一种双台面协调平面运动的自动滑台装置，其特征在于，包括底板、左移动滑台和右移动滑台；所述左移动滑台和所述右移动滑台均固定在所述底板上；所述左移动滑台用于承载左测试工装，所述右移动滑台用于承载右测试工装；

2.如权利要求1所述的双台面协调平面运动的自动滑台装置，其特征在于，所述共用测试位包括为共用第二测试位和共用第三测试位，所述左第一测试位、所述共用第二测试位、所述共用第三测试位和所述右第一测试位在x轴方向上依次间隔设置。

3.如权利要求2所述的双台面协调平面运动的自动滑台装置，其特征在于，所述左零位与所述左第一测试位的连线平行于y轴；所述左移动滑台用于从所述左零位依次经过所述左第一测试位、所述共用第二测试位和所述共用第三测试位后返回所述左零位；

4.如权利要求2所述的双台面协调平面运动的自动滑台装置，其特征在于，所述左移动滑台包括左x轴移动电机、左y轴移动电机和左x轴移动平台；所述左x轴移动电机固定在所述底板上，并用于带动所述左x轴移动平台在x轴方向上移动；所述左y轴移动电机固定在所述左x轴移动平台的后端；所述左x轴移动电机用于驱动所述左测试工装在x轴方向移动，所述左y轴移动电机用于驱动所述左测试工装在y轴方向移动；

5.如权利要求4所述的双台面协调平面运动的自动滑台装置，其特征在于，还包括左限位、左前限位、左后限位、右限位、右前限位和右后限位；

6.如权利要求4所述的双台面协调平面运动的自动滑台装置，其特征在于，所述左x轴移动电机、所述右x轴移动电机、所述左y轴移动电机和所述右y轴移动电机均为步进电机；

7.如权利要求1-6中任一项所述的双台面协调平面运动的自动滑台装置，其特征在于，还包括黑体，所述黑体的数量为多个，所述左第一测试位、所述右第一测试位和每个所述共用测试位均对应设置有一个所述黑体。

8.如权利要求1-6中任一项所述的双台面协调平面运动的自动滑台装置，其特征在于，还包括控制设备，所述控制设备分别与所述左移动滑台和所述右移动滑台通信连接，所述控制设备用于分别控制所述左移动滑台和所述右移动滑台的往复移动。

9.如权利要求8所述的双台面协调平面运动的自动滑台装置，其特征在于，所述控制设备包括左测试工位和右测试工位；所述左测试工位用于控制所述左移动滑台移动，所述右测试工位用于控制所述右移动滑台移动。

10.如权利要求9所述的双台面协调平面运动的自动滑台装置，其特征在于，还包括自动滑台控制板，所述自动滑台控制板分别与所述左测试工位和所述右测试工位通信连接，并分别与所述左移动滑台和所述右移动滑台通信连接；所述自动滑台控制板用于在所述左测试工位的控制下驱动所述左移动滑台移动，并用于在所述右测试工位的控制下驱动所述右移动滑台移动。

11.如权利要求9所述的双台面协调平面运动的自动滑台装置，其特征在于，所述左测试工位能够通过所述自动滑台控制板获取所述右移动滑台的移动位置，并能够在所述左移动滑台与所述右移动滑台的移动路径发生干涉时控制所述右移动滑台移出干涉路径；