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一种基于机器视觉的PVA薄膜应力检测方法及系统与流程

2026-07-16 12:00:07 44次浏览

技术特征:

1.一种基于机器视觉的pva薄膜应力检测方法,其特征在于:包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的pva薄膜应力检测方法,其特征在于:所述曲率测试组件包括激光器、标准具、偏振器和第一相机,将第一相机对准激光器的反射区域,调整第一相机的焦距和角度;

3.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的pva薄膜应力检测方法,其特征在于:所述pva薄膜应力检测方法,还包括步骤:

4.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的pva薄膜应力检测方法,其特征在于:所述测量样品厚度,包括以下步骤:

5.根据权利要求4所述的一种基于机器视觉的pva薄膜应力检测方法,其特征在于:所述计算光密度值d,公式如下:

6.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的pva薄膜应力检测方法,其特征在于:所述测试样品曲率,包括以下步骤:

7.根据权利要求6所述的一种基于机器视觉的pva薄膜应力检测方法,其特征在于:所述图像处理,包括以下步骤:

8.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的pva薄膜应力检测方法,其特征在于:所述应力计算,包括以下步骤:

9.一种基于机器视觉的pva薄膜应力检测系统,应用于如权利要求1-8任一项所述的一种基于机器视觉的pva薄膜应力检测方法,其特征在于:包括样品制备模块、样品测试模块、机器视觉模块和应力计算模块;

10.根据权利要求9所述的一种基于机器视觉的pva薄膜应力检测系统,其特征在于:所述机器视觉模块,用于通过ccd相机采集pva薄膜制备前后入射、出射灰度图像和样品放置前后的反射信号光斑图像,并对获取的图像数据进行预处理;


技术总结
本发明涉及一种基于机器视觉的PVA薄膜应力检测方法及系统,属于薄膜应力检测技术领域。包括步骤:搭建测试平台,测试平台包括曲率测试组件、厚度测试组件和载物台;通过厚度测试组件测量样品厚度,通过曲率测试组件测试基底曲率,获取样品厚度和基底曲率变化量;基于测试中对PVA薄膜的热处理,将测试的基底曲率变化量输入修正后的Stoney公式计算应力。本发明通过搭建同时进行薄膜厚度测试和基底曲率测试的测试平台,提高了检测的实时性和高效性,通过机器视觉对采集测试图像并进行图像处理,避免了传统接触式测量可能对样品造成的物理损伤,实现样品厚度和基底曲率的精确测量,提高了应力计算的准确性。

技术研发人员:王贯军
受保护的技术使用者:深圳森工新材料科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/12/2
文档序号 : 【 40203033 】

技术研发人员:王贯军
技术所有人:深圳森工新材料科技有限公司

备 注:该技术已申请专利,仅供学习研究,如用于商业用途,请联系技术所有人。
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王贯军深圳森工新材料科技有限公司
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