固定电极、电容式薄膜真空计及电子设备的制作方法

1.一种固定电极，应用于电容式薄膜真空计；其特征在于，所述固定电极包括：

2.如权利要求1所述的固定电极，其特征在于，所述固定电极包括：多个第一连接部；

3.如权利要求2所述的固定电极，其特征在于，每一个所述第一连接部沿设定圆形的半径方向延伸，所述设定圆形与所述第二环形电极共圆心；

4.如权利要求3所述的固定电极，其特征在于，所述多个补偿子电极沿所述圆周方向平均划分，每一个所述第一连接部与对应的补偿子电极的外侧圆弧的中点连接。

5.如权利要求1-4任一项所述的固定电极，其特征在于，所述第一环形电极包括：沿圆周方向划分的多个第一子环形电极；所述多个第一子环形电极通过至少一个第二连接部连接，且所述至少一个第二连接部与所述补偿电极以及所述第二环形电极绝缘；

6.如权利要求5所述的固定电极，其特征在于，所述至少一个第二连接部设置于所述电极层，且所述至少一个第二连接部中的每一个所述第二连接部设置于相邻两个补偿子电极之间的间隙中。

7.如权利要求6所述的固定电极，其特征在于，所述固定电极包括：多个第二连接部；所述多个第一子环形电极与所述多个第二连接部一一对应；

8.如权利要求7所述的固定电极，其特征在于，每相邻两个所述第二连接部之间具有第二夹角，至少两个所述第二夹角相同。

9.如权利要求8所述的固定电极，其特征在于，所述多个第一子环形电极沿所述圆周方向平均划分，每一个所述第二连接部与对应的第一子环形电极的内侧圆弧的中点连接。

10.如权利要求1-4任一项所述的固定电极，其特征在于，所述至少一个第一连接部设置于所述支撑板背离所述电极层一侧；

11.如权利要求10所述的固定电极，其特征在于，在所述补偿电极包括沿圆周方向划分的多个补偿子电极时，所述支撑板具有多个通孔组；所述多个补偿子电极与所述多个通孔组一一对应；

12.如权利要求1-4任一项所述的固定电极，其特征在于，所述支撑板的形状为圆形，且所述支撑板与所述第二环形电极共圆心；

13.如权利要求12所述的固定电极，其特征在于，所述补偿电极在所述支撑板上的正投影的轮廓为环形，且所述补偿电极的外径不大于0.2r0；

14.如权利要求12所述的固定电极，其特征在于，所述第一连接部和第二连接部中的至少一个的宽度不大于0.05r0。

15.如权利要求12所述的固定电极，其特征在于，50mm≤r0≤70mm。

16.如权利要求1-4任一项所述的固定电极，其特征在于，所述补偿电极、所述第一环形电极以及所述第二环形电极中的至少一个在所述支撑板上的正投影的边缘为曲线形、锯齿形、波浪形中的至少一种。

17.一种固定电极，应用于电容式薄膜真空计；其特征在于，所述固定电极包括：

18.如权利要求17所述的固定电极，其特征在于，r0≤40mm。

19.如权利要求18所述的固定电极，其特征在于，20mm≤r0≤25mm。

20.一种电容式薄膜真空计，其特征在于，包括：

21.一种电子设备，其特征在于，包括电容式薄膜真空计，所述电容式薄膜真空计包括如权利要求1-19任一所述的固定电极。