探针台及其定位精度补偿方法与流程

1.一种探针台的定位精度补偿方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的探针台的定位精度补偿方法，其特征在于：通过探针台对标定物上的多个特征点进行对位操作，获取所述探针台的运动平台的多个运动指令坐标；包括：

3.根据权利要求2所述的探针台的定位精度补偿方法，其特征在于：所述机器视觉系统利用自动光学对准技术对所述高精度晶圆进行初步摆正及位置确认、以及对所述高精度晶圆上的晶粒进行对位操作；

4.根据权利要求1所述的探针台的定位精度补偿方法，其特征在于：对所述映射关系表进行梯度分析，判断所述映射关系表中的数据是否为连续变化：

5.根据权利要求1所述的探针台的定位精度补偿方法，其特征在于：采用双线性插值算法细化所述映射关系表中的所述map图，亦即：采用双线性插值算法计算出所述运动平台的运动指令坐标的规划值。

6.根据权利要求5所述的探针台的定位精度补偿方法，其特征在于：双线性插值算法利用所述map图中的四个点进行插值，即根据q11(x1,y1)、q12(x1,y2)、q21(x2,y1)和q22(x2,y2)四点处的函数值计算出未知函数在点p＝(x,y)处的值，具体包括：

7.根据权利要求1所述的探针台的定位精度补偿方法，其特征在于：逆双线性插值算法利用所述运动平台的四个当前运动指令坐标进行插值，即根据和计算出未知函数在点p*＝(x,y)处的值，具体包括：

8.根据权利要求1所述的探针台的定位精度补偿方法，其特征在于：所述测试物为测试晶圆；相应的，在所述探针台的探针扎入所述测试晶圆上的晶粒的焊盘后，利用所述机器视觉系统获取所述测试晶圆的图片，并对所得图片依次进行roi切片、二项式滤波、阈值化、连通域、筛选焊盘和针痕处理后，获得针痕的位置坐标、焊盘的中心点坐标、以及两者之间的偏差值。

9.根据权利要求8所述的探针台的定位精度补偿方法，其特征在于：采用线性插值算法对所述针痕的位置坐标进行误差补偿，具体包括：

10.一种探针台，其特征在于：所述探针台采用如权利要求1-9中任一项所述的探针台的定位精度补偿方法进行定位精度补偿。