一种Cs2AuYBr6-xClx晶体X射线光探测器的制作方法
技术特征：
1.一种cs2auybr6-xclx晶体x射线光探测器，其特征在于：包括
2.根据权利要求1所述的一种cs2auybr6-xclx晶体x射线光探测器，其特征在于：所述双极性x射线吸收层为cs2auybr6-xclx双极性晶体，0≤x≤6。
3.根据权利要求2所述的一种cs2auybr6-xclx晶体x射线光探测器，其特征在于：所述双极性x射线吸收层的制备方法：将2mol/l csbr,1mol/l aubr,1mol/l ycl3溶解于60mldmf和45ml dmso，形成钙钛矿前驱液；采用bibr3溶液作为添加剂以增大晶体生长尺寸；采用ptfe过滤器对前驱液过滤，滤头尺度为30μm；将上述前驱液转移到培养皿中，再将培养皿置于加热台上；将温度调制60-80℃进行结晶，直至晶体生长到需要的尺度。
4.根据权利要求3所述的一种cs2auybr6-xclx晶体x射线光探测器，其特征在于：所述电子阻挡层是cs掺杂cui层。
5.根据权利要求4所述的一种cs2auybr6-xclx晶体x射线光探测器，其特征在于：所述电子阻挡层的制备方法为：将csi粉体按照6％的摩尔比与cui粉体混合，再将混合的粉体按照4:10:10的摩尔比溶解于乙醇胺和甲醚溶液，在室温下搅拌溶解6小时，再用0.4μm的滤网过滤；将上述溶液旋涂到cs2auybr6-xclx晶体顶面，加热至80～100℃形成电子阻挡层。
6.根据权利要求5所述的一种cs2auybr6-xclx晶体x射线光探测器，其特征在于：所述空穴阻挡层是ag掺杂ito层。
7.根据权利要求6所述的一种cs2auybr6-xclx晶体x射线光探测器，其特征在于：所述空穴阻挡层的制备方法为：将等量的in(no3)3·5h2o和sncl2·2h2o分别溶解于20ml的乙醇，再将这两种溶液搅拌混合1小时，进一步加温到60℃形成透明溶液；将agno3和pvp加入前述ito溶液，其中ag的浓度为4％，形成ag掺杂ito溶液；将上述ag掺杂ito溶液旋涂至cs2auybr6-xclx晶体底面，加热至80～100℃形成空穴阻挡层。
8.根据权利要求7所述的一种cs2auybr6-xclx晶体x射线光探测器，其特征在于：所述顶电极和底电极的制备方法为：完成双极性x射线吸收层、电子阻挡层和空穴阻挡层制备后，在上下端面采用热蒸发的方式分别沉积顶电极和底电极；所述顶电极和电子阻挡层之间构建欧姆接触，底电极和空穴阻挡层之间也构建欧姆接触。
技术总结
本发明公开了一种Cs<subgt;2</subgt;AuYBr<subgt;6‑x</subgt;Cl<subgt;x</subgt;晶体X射线光探测器，包括Cs<subgt;2</subgt;AuYBr<subgt;6‑x</subgt;Cl<subgt;x</subgt;晶体作为双极性X射线传感层、电子阻挡层、空穴阻挡层、顶电极和底电极，探测器在正、负偏置电压下可以得到与X射线入射深度相关联的不同方向的探测电流，获得X射线双极性探测性能，通过调控Cs<subgt;2</subgt;AuYBr<subgt;6‑x</subgt;Cl<subgt;x</subgt;晶体的卤素组分，可以改变晶体的能带结构以及电子、空穴的传输性能，最终获得在正、负偏置电压下平衡的光电响应。本发明提出的X射线双极性探测器在正、负偏置电压下都可以获取有效的探测信号，增大了X射线图像的信息量，为机器学习X射线图像诊断提供了数据保证。
技术研发人员：雷威,麦赫特·艾特格瑞,哈姆杜拉·卡维克,哈利尔·伊普瑞汉姆·奥克缪斯,李青,周建明
受保护的技术使用者：苏州亿欧特光电科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/11/28
技术研发人员：雷威,麦赫特·艾特格瑞,哈姆杜拉·卡维克,哈利尔·伊普瑞汉姆·奥克缪斯,李青,周建明
技术所有人：苏州亿欧特光电科技有限公司
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