保管设备的制作方法

本发明涉及保管设备。

背景技术：

1、以往，为了保管半导体或液晶板等这类要求保持高无尘度的产品，已知会在无尘室中设置用来保管产品的保管架。例如，在专利文献1中公开了一种具有天花板的保管架，从无尘室的天花板吹出的风(洁净空气)分流至该保管架的前后，相对于保管架设有将流向天花板下方的风导向保管架侧的整流机构。

2、[现有技术文献]

3、专利文献1：日本特开2002-338007号公报

技术实现思路

1、(发明所要解决的问题)

2、另外，在无尘室中，会采用从设置于天花板的滤扇单元向无尘室供给洁净空气来保持室内空气无尘度的方法。在这样的无尘室中，有时会视所要求的空气无尘度而将滤扇单元相对于无尘室天花板面积的设置区域设计得较小。该情况下，保管架的上方就会存在配置有滤扇单元的区域和未配置有滤扇单元的区域，因此来自天花板的洁净空气相对于保管架的流动情况就会不均匀，从而有保管架内容易发生空气停滞的问题。

3、本发明的一个方面的目的在于实现：从保管设备的上方提供给保护设备的洁净空气的供给即使不均匀，也能够维持保管设备内的无尘度。

4、(用以解决问题的技术手段)

5、为了解决所述课题，本发明一个方面的保管设备被设置于无尘室，其中所述无尘室通过从设置在天花板上的滤扇单元供给洁净空气来保持室内的无尘度，所述保管设备具备供载置物品的保管架，至少在所述保管架的头顶位置设有多个孔，从所述滤扇单元供给到所述无尘室内的所述洁净空气穿过所述多个孔而进入所述保管设备的内部。

6、(发明效果)

7、根据本发明的一个方面，从保管设备上方提供于保护设备的洁净空气的供给即使不均匀，也能够维持保管设备内的无尘度。

1.一种保管设备，其设置于无尘室，其中所述无尘室通过从设置在天花板上的滤扇单元供给洁净空气来保持室内的无尘度，

2.根据权利要求1所述的保管设备，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的保管设备，其特征在于还具备：

4.根据权利要求1所述的保管设备，其特征在于，