一种电子级双氧水合成与提纯方法与流程

本发明涉及双氧水加工，尤其涉及一种电子级双氧水合成与提纯方法。

背景技术：

1、双氧水(h202)是一种常见的化学物质,具有氧化性和杀菌性能。电子级双氧水是一种高纯度的双氧水,广泛应用于电子行业的制造和清洗过程中。电子级双氧水相比普通双氧水拥有更高纯度的优势。其特性包括低金属离子和有机物含量、高纯度和可控性。这使得电子级双氧水在电子行业中得到广泛应用。电子级双氧水主要应用于半导体制造、平板显示器制造、太阳能光伏制造以及其他一些电子设备的制造和维护过程中。它可用于去除表面有机污染物、清洗和净化半导体材料以及去除金属离子等。在这些应用中,高纯度的电子级双氧水能够保证产品的质量和性能。

2、电子级双氧水加工时，氢气与氧气反应时，若氧气含量较大，容易发生爆炸风险，现有技术中，不便于对氧气量进行控制，因此我们提出了一种电子级双氧水合成与提纯方法，用来解决上述问题。

技术实现思路

1、本发明的目的是为了解决现有技术中存在不便于对氧气量进行控制的缺点，而提出的一种电子级双氧水合成与提纯方法。

2、为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

3、一种电子级双氧水合成与提纯方法，合成包括以下步骤：

4、s1、首先将烷基蒽醌与重芳烃、磷酸三辛酯配置成工作溶液；

5、s2、向工作溶液中通入氢气，实现氢化还原；

6、s3、氢化后的溶液在40-44℃下与氧气进行逆流氧化；

7、s4、对氧气的含量进行监测，对监测数据进行采集，将采集的数据与预设的数据进行比对，超过预设的数据则进行报警，同时启动氧气控制阀，调节氧气的进入量；

8、s5、调节后，持续监测氧气含量，在调节后10-30s，若氧气含量未降低至低于预设数据，则切断氧气供给；

9、s6、溶液最后经过萃取和再生、精制与浓缩，得到质量分数为20％-30％的过氧化氢水溶液；

10、提纯包括以下步骤：

11、过氧化氢水溶液在蒸发器中蒸发，气液混合物经气液分离器分离，蒸汽进入分凝器，蒸汽被冷凝下来成为纯化的电子级双氧水。

12、优选的，所述s4中，对氧气的含量进行监测，对监测数据进行采集，将采集的数据与预设的数据进行比对，超过预设的数据则进行报警，同时启动氧气控制阀，调节氧气的进入量，预设的数据是氧气含量为2％。

13、优选的，所述s3中，通过氧气分析仪对氧气的含量进行监测，通过无线传输的方式将监测的数据传输至监控后台。

14、优选的，所述s4中，在对氧气含量进行监测时，采取间断监测的方式，即每隔2-5s进行一次氧气含量监测。

15、优选的，所述s2中，在压力0.3mpa，温度55-65℃的条件下，通入氢气，实现氢化还原。

16、优选的，所述s1中，对烷基蒽醌与重芳烃、磷酸三辛酯进行定量，烷基蒽醌与重芳烃、磷酸三辛酯重量比为：4:3:3。

17、优选的，所述s3中，氢化后的溶液在42℃下与氧气进行逆流氧化。

18、优选的，所述s5中，调节后，持续监测氧气含量，在调节后20s，若氧气含量未降低至低于预设数据，则切断氧气供给。

19、优选的，将过氧化氢水溶液泵送至蒸发器，使得过氧化氢水溶液在蒸发器中蒸发。

20、优选的，所述s2中，向工作溶液中通入氢气，实现氢化还原，通过流量计对氢气的量进行监测。

21、本发明中，所述一种电子级双氧水合成与提纯方法的有益效果：

22、对氧气的含量进行监测，对监测数据进行采集，将采集的数据与预设的数据进行比对，超过预设的数据则进行报警，同时启动氧气控制阀，调节氧气的进入量；调节后，持续监测氧气含量，在调节后10-30s，若氧气含量未降低至低于预设数据，则切断氧气供给；

23、本发明便于对氧气含量进行监测，可以及时进行调控，调控不及时可以进行切断，避免出现爆炸风险。

1.一种电子级双氧水合成与提纯方法，其特征在于，合成包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种电子级双氧水合成与提纯方法，其特征在于，所述s4中，对氧气的含量进行监测，对监测数据进行采集，将采集的数据与预设的数据进行比对，超过预设的数据则进行报警，同时启动氧气控制阀，调节氧气的进入量，预设的数据是氧气含量为2％。

3.根据权利要求2所述的一种电子级双氧水合成与提纯方法，其特征在于，所述s3中，通过氧气分析仪对氧气的含量进行监测，通过无线传输的方式将监测的数据传输至监控后台。

4.根据权利要求3所述的一种电子级双氧水合成与提纯方法，其特征在于，所述s4中，在对氧气含量进行监测时，采取间断监测的方式，即每隔2-5s进行一次氧气含量监测。

5.根据权利要求4所述的一种电子级双氧水合成与提纯方法，其特征在于，所述s2中，在压力0.3mpa，温度55-65℃的条件下，通入氢气，实现氢化还原。

6.根据权利要求5所述的一种电子级双氧水合成与提纯方法，其特征在于，所述s1中，对烷基蒽醌与重芳烃、磷酸三辛酯进行定量，烷基蒽醌与重芳烃、磷酸三辛酯重量比为：4:3:3。

7.根据权利要求6所述的一种电子级双氧水合成与提纯方法，其特征在于，所述s3中，氢化后的溶液在42℃下与氧气进行逆流氧化。

8.根据权利要求7所述的一种电子级双氧水合成与提纯方法，其特征在于，所述s5中，调节后，持续监测氧气含量，在调节后20s，若氧气含量未降低至低于预设数据，则切断氧气供给。

9.根据权利要求8所述的一种电子级双氧水合成与提纯方法，其特征在于，将过氧化氢水溶液泵送至蒸发器，使得过氧化氢水溶液在蒸发器中蒸发。

10.根据权利要求9所述的一种电子级双氧水合成与提纯方法，其特征在于，所述s2中，向工作溶液中通入氢气，实现氢化还原，通过流量计对氢气的量进行监测。