一种完全等光程外差激光干涉仪及其测量方法
技术特征：
1.一种完全等光程外差激光干涉仪，其特征在于，包括偏振分光棱镜(1)、角锥棱镜(2)、四分之一波片(3)、第一补偿玻璃(4)、第一二分之一波片(5)、第一koester棱镜(6)、第一偏振片(7)、第一光电探测器(8)、第二二分之一波片(9)、第二补偿玻璃(10)、第二koester棱镜(11)、第二偏振片(12)、第二光电探测器(13)、第二反射镜(14)、第一反射镜(15)；
2.根据权利要求1所述的一种完全等光程外差激光干涉仪，其特征在于，第一补偿玻璃(4)、第二补偿玻璃(10)、第一二分之一波片(5)和第二二分之一波片(9)尺寸相同，所述第一补偿玻璃(4)和第二补偿玻璃(10)关于偏振分光棱镜(1)成中心对称设置；所述第一二分之一波片(5)和第二二分之一波片(9)关于偏振分光棱镜(1)成中心对称设置。
3.根据权利要求1或2所述的一种完全等光程外差激光干涉仪，其特征在于，所述偏振分光棱镜(1)的透射光偏振方向为垂直方向，反射光偏振方向为水平方向；所述第一偏振片(7)和第二偏振片(12)的偏振轴方向均与水平方向成45°夹角；所述四分之一波片(3)的快轴方向与水平方向成45°夹角；所述第一二分之一波片(5)和第二二分之一波片(9)的快轴方向与水平方向成45°夹角。
4.根据权利要求3所述的一种完全等光程外差激光干涉仪，其特征在于，激光光源同时向偏振分光棱镜发射两束不同频率的空间分离光束：频率为f1的第一输入光束和频率为f2的第二输入光束，第一输入光束和第二输入光束均为圆偏振光并且入射方向垂直于偏振分光棱镜(1)，第一输入光束和第二输入光束在完全等光程外差激光干涉仪中的行进路径长度相等。
5.根据权利要求4所述的一种完全等光程外差激光干涉仪，其特征在于，所述第二反射镜(14)、第一反射镜(15)为镀反射膜的平面镜，在进行测量时第一反射镜(15)和第二反射镜(14)保持相对运动或静止。
6.一种完全等光程外差激光干涉仪的测量方法，依托于权利要求1-5之一所述的一种完全等光程外差激光干涉仪实现，其特征在于，包括如下步骤：
7.根据权利要求6所述的一种完全等光程外差激光干涉仪的测量方法，其特征在于，
技术总结
一种完全等光程外差激光干涉仪及其测量方法，属于光学测量技术领域。为克服现有的非共光路外差激光干涉仪均难以满足光程完全平衡的问题,本发明偏振分光棱镜的上侧端面贴附有角锥棱镜、下侧端面贴附有四分之一波片、左侧端面贴附有第一补偿玻璃、第一二分之一波片，偏振分光棱镜的右侧端面并列贴附有第二补偿玻璃、第二二分之一波片；第一补偿玻璃、第一二分之一波片的左侧贴附有第一koester棱镜，第一koester棱镜的出光面贴附有第一偏振片；第二补偿玻璃、第二二分之一波片的右侧贴附有第二koester棱镜，第二koester棱镜的出光面贴附有第二偏振片；四分之一波片的输出光路上设置有第二反射镜、第一反射镜。
技术研发人员：付海金,王子乔,胡鹏程,陈仪松,熊信慷,王铮
受保护的技术使用者：哈尔滨工业大学
技术研发日：
技术公布日：2024/11/26
技术研发人员：付海金,王子乔,胡鹏程,陈仪松,熊信慷,王铮
技术所有人：哈尔滨工业大学
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