部件承载件及其制造方法与流程

1.部件承载件，其中，所述部件承载件包括：

2.根据权利要求1所述的部件承载件，其中，所述至少一个第一导电轨道和所述至少一个第二导电轨道中的至少一者是由至少两个、特别地至少三个堆叠的轨道构成部分构成的多级轨道，其中，特别地，至少两个堆叠的轨道构成部分中不同的轨道构成部分具有不同的侧向延伸长度和/或不同的竖向延伸长度。

3.根据权利要求2所述的部件承载件，包括以下特征中的至少一项：

4.根据权利要求1所述的部件承载件，其中，所述至少一个第二导电轨道被配置用于执行由下述构成的组中的至少一项任务：与所述至少一个第一导电轨道相比传输较高的电流；与所述至少一个第一导电轨道相比传输较高频率的信号；以及与所述至少一个第一导电轨道相比移除较多的热，其中，特别地，所述至少一个另外的电绝缘层结构包括下述或由下述构成：不具有增强纤维特别是不具有增强结构的树脂。

5.根据权利要求1所述的部件承载件，其中，所述至少一个电绝缘层结构包括具有增强结构、特别是具有增强纤维或增强球的树脂。

6.根据权利要求4所述的部件承载件，其中，所述至少一个电绝缘层结构和所述至少一个另外的电绝缘层结构由相同或不同的材料制成。

7.根据权利要求1所述的部件承载件，包括下述特征中的至少一项：

8.一种制造部件承载件的方法，其中，所述方法包括：

9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述方法包括使所述至少一个第一导电轨道和所述至少一个第二导电轨道中的至少一者形成为具有至少两个堆叠的轨道构成部分的多级轨道。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述方法包括通过下述来形成所述多级轨道：

11.根据权利要求10所述的方法，其中，所述方法包括通过下述来形成所述图案化导电层结构中的至少一个图案化导电层结构：

12.根据权利要求9所述的方法，其中，所述方法包括将所述至少两个堆叠的轨道构成部分中不同的轨道构成部分形成为具有不同的侧向延伸长度，其中，所述方法特别地包括使所述至少两个堆叠的轨道构成部分中的上部轨道构成部分形成为与所述至少两个堆叠的轨道构成部分中的下部轨道构成部分的较小侧向延伸长度相比具有较大的侧向延伸长度。

13.根据权利要求8所述的方法，其中，所述方法包括通过下述来形成所述至少一个第一导电轨道：

14.根据权利要求8所述的方法，其中，所述方法包括形成图案化的另外的牺牲层，所述图案化的另外的牺牲层形成在所述至少一个第一导电轨道上和所述连续的基部层上并且具有至少一个凹部，所述图案化的另外的牺牲层的至少一个凹部使所述连续的基部层的至少一个另外的部分暴露，特别地不使所述至少一个第一导电轨道暴露。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，所述方法包括：在所述连续的基部层上用另外的导电材料填充至少一个另外的凹部，特别是通过镀覆来填充，从而形成所述至少一个第二导电轨道。

16.根据权利要求15所述的方法，其中，所述方法包括：在所述填充之后移除另外的牺牲结构。

17.根据权利要求16所述的方法，其中，所述方法包括：在所述移除之后移除所述连续的基部层的被暴露材料，特别地通过闪蚀刻来移除所述连续的基部层的被暴露材料，从而使所述至少一个第一导电轨道与所述至少一个第二导电轨道彼此分开。

18.根据权利要求14所述的方法，其中，所述方法包括将根据权利要求14的工艺流程重复数量n次，其中，n是一或大于一的整数，以获得n+2个不同高度的导电轨道。

19.根据权利要求8所述的方法，其中，所述方法包括使所述至少一个第二导电轨道的一部分与所述至少一个第一导电轨道同时地形成。