一种电位测量装置、电位测量方法

1.一种电位测量装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的电位测量装置，其特征在于，所述驱动模块(2)，包括：信号发生器(21)、功率放大器(22)和音圈电机(23)；

3.根据权利要求2所述的电位测量装置，其特征在于，所述探测模块(3)，包括：支撑部件(31)、位移平台组件(32)、屏蔽组件(33)、探针(34)；

4.根据权利要求3所述的电位测量装置，其特征在于，所述屏蔽组件(33)，包括：屏蔽盒(331)、绝缘支撑杆(332)、锁紧螺母(333)、bnc接头(334)、探针自紧夹头(335)；

5.根据权利要求3所述的电位测量装置，其特征在于，探针(34)末端直径在0.5μm以内，探针(34)与样品表面距离在100nm以内。

6.根据权利要求3所述的电位测量装置，其特征在于，所述位移平台组件(32)，包括：位移平台控制器(321)、三轴位移平台(322)；

7.根据权利要求1所述的电位测量装置，其特征在于，所述测量模块(4)，包括：数据采集卡(41)、隔离型高压模块(42)和i/v跨阻放大器(43)；

8.根据权利要求7所述的电位测量装置，其特征在于，所述隔离型高压模块(42)，包括：电源输入端、控制信号输入端与高电压输出端子；

9.根据权利要求7所述的电位测量装置，其特征在于，所述i/v跨阻放大器(43)基于如下公式，计算所述输出电压

10.一种电位测量方法，其特征在于，包括：