一种使用水冷变频一体式电机的三级真空泵组及控制方法与流程

1.一种使用水冷变频一体式电机的三级真空泵组，包括罗茨真空泵（1）、罗茨泵支撑架（4）、机架（6）和进气法兰（7），所述罗茨真空泵（1）通过罗茨泵支撑架（4）固定在机架（6）上，所述进气法兰（7）安装在罗茨真空泵（1）的进气口，其特征在于：还包括两级干式真空泵（2）、上下泵连接法兰（3）、电控系统（5）、排气消音器（8）、冷却水进水接头（11）、冷却水回水接头（12）、通讯线接头（13）和电源线接头（14），所述两级干式真空泵（2）由高压差罗茨真空泵和干式螺杆真空泵组成，该两级干式真空泵（2）安装在机架（6）上，且所述两级干式真空泵（2）位于罗茨真空泵（1）的正下方；所述罗茨真空泵（1）的出气口通过上下泵连接法兰（3）和两级干式真空泵（2）的进气口连接，所述排气消音器（8）和两级干式真空泵（2）的出气口连接；所述两级干式真空泵（2）中的高压差罗茨真空泵的壳体和干式螺杆真空泵的壳体均设置有冷却水套，所述冷却水进水接头（11）和冷却水回水接头（12）通过冷却水管与冷却水套连接；所述电控系统（5）、通讯线接头（13）和电源线接头（14）均安装在机架（6）上，该电控系统（5）、通讯线接头（13）和电源线接头（14）均与罗茨真空泵（1）和两级干式真空泵（2）连接。

2.根据权利要求1所述的使用水冷变频一体式电机的三级真空泵组，其特征在于：所述三级真空泵组还包括脚轮（9）和脚杯（10），所述脚轮（9）和脚杯（10）均固定在机架（6）的底部。

3.根据权利要求1所述的使用水冷变频一体式电机的三级真空泵组，其特征在于：所述罗茨真空泵（1）和两级干式真空泵（2）中的驱动电机均为水冷变频一体式电机。

4.根据权利要求1所述的使用水冷变频一体式电机的三级真空泵组，其特征在于：所述两级干式真空泵（2）的进气口位于罗茨真空泵（1）的出气口的正下方，所述上下泵连接法兰（3）呈竖直状结构。

5.根据权利要求1所述的使用水冷变频一体式电机的三级真空泵组，其特征在于：所述机架（6）上设置有钣金。

6.一种如权利要求1～5任一项所述的使用水冷变频一体式电机的三级真空泵组的控制方法，其特征在于：三级真空泵组的气路通过进气法兰（7）和排气消音器（8）与客户端的气体管道连接，实现气体的运输；三级真空泵组的水路通过冷却水进水接头（11）和冷却水回水接头（12）与客户端的冷却水系统相连接，实现冷却水路的循环；三级真空泵组通过电源线接头（14）和通讯线接头（13）分别与客户端的供电系统和上位机电控系统相连接，实现三级真空泵组的运转；

7.根据权利要求6所述的使用水冷变频一体式电机的三级真空泵组的控制方法，其特征在于：电控系统（5）通过采集罗茨真空泵（1）的运行频率与电流数据调整两级干式真空泵（2）中的高压差罗茨真空泵的频率，根据负载自适应调节两级干式真空泵（2）中的高压差罗茨真空泵的零频率设定，是采用如下方法实现的：

8.根据权利要求6所述的使用水冷变频一体式电机的三级真空泵组的控制方法，其特征在于：电控系统（5）通过算法设置罗茨真空泵（1）与两级干式真空泵（2）中的高压差罗茨真空泵的频率，以达到运行频率方案，在满足工艺需求的条件下实现最小能耗，是采用如下方法实现的：