超高真空宽温域材料释放气体检测装置及其使用方法与流程
技术特征：
1.一种超高真空宽温域材料释放气体检测装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的超高真空宽温域材料释放气体检测装置，其特征在于，所述第二真空泵组通过第四阀与所述过渡腔连通，所述第二真空泵组还用于去除所述过渡腔内气体，使得所述过渡腔的真空度降低至10-6pa。
3.根据权利要求2所述的超高真空宽温域材料释放气体检测装置，其特征在于，所述第二真空泵组包括通过连接管道依次连接的机械泵、辅助分子泵和主抽分子泵，所述释气腔和所述过渡腔分别通过所述第二阀和所述第四阀与所述机械泵连通。
4.根据权利要求2所述的超高真空宽温域材料释放气体检测装置，其特征在于，所述第一真空泵组包括溅射离子泵、钛升华泵和/或吸气剂泵，所述溅射离子泵、所述钛升华泵和/或所述吸气剂泵分别与所述过渡腔相连。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的超高真空宽温域材料释放气体检测装置，其特征在于，所述释气腔包括：
6.一种如权利要求1至5中任一项所述的超高真空宽温域材料释放气体检测装置的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：
7.根据权利要求6所述的超高真空宽温域材料释放气体检测装置的使用方法，其特征在于，所述第一真空泵组包括溅射离子泵、钛升华泵和/或吸气剂泵，所述步骤s1具体包括：
8.根据权利要求6所述的超高真空宽温域材料释放气体检测装置的使用方法，其特征在于，所述第二真空泵组包括通过连接管道依次连接的机械泵、辅助分子泵和主抽分子泵，所述机械泵通过所述第二阀与所述释气腔连通，所述步骤s2具体包括：
9.根据权利要求8所述的超高真空宽温域材料释放气体检测装置的使用方法，其特征在于，所述机械泵通过第四阀与所述过渡腔连通，在所述步骤s1之前，还包括：
10.根据权利要求6至8中任一项所述的超高真空宽温域材料释放气体检测装置的使用方法，其特征在于，所述s4具体包括：
技术总结
本申请涉及空间环境技术领域，尤其涉及一种超高真空宽温域材料释放气体检测装置及其使用方法，所述超高真空宽温域材料释放气体检测装置包括释气腔、过渡腔、第一真空泵组、第二真空泵组和标准漏孔，其中，释气腔的外侧设置有温度控制机构；过渡腔通过第一阀与释气腔连通；第一真空泵组使得过渡腔的真空度降低至10<supgt;‑9</supgt;Pa；第二真空泵组使得释气腔的真空度降低至10<supgt;‑5</supgt;Pa；标准漏孔用于检测待测样品释放气体速率。本申请中，无需重复调整过渡腔的真空度，缩短了样品测试时间，而且样品处于超高真空环境内，提高了检测的灵敏度，此外，温度控制机构位于释气腔外侧，消除了自身释放气体对检测结果的影响，实现了对释气腔的宽温调节。
技术研发人员：窦仁超,崔寓淏,喻新发,任国华,史纪军,刘招贤,孙继鹏,闫荣鑫,孟冬辉,孙立臣
受保护的技术使用者：北京卫星环境工程研究所
技术研发日：
技术公布日：2024/11/18
技术研发人员：窦仁超,崔寓淏,喻新发,任国华,史纪军,刘招贤,孙继鹏,闫荣鑫,孟冬辉,孙立臣
技术所有人：北京卫星环境工程研究所
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