一种轨道角动量域暗场成像系统及成像方法
技术特征:
1.一种轨道角动量域暗场成像系统,其特征是包括高斯基模光束照明模块、样品及扫描模块和轨道角动量域模态分解模块;
2.根据权利要求1所述的轨道角动量域暗场成像系统,其特征是:所述高斯基模光束照明模块,按照光线传播方向依次包括:激光器(1)、半波片(2)、扩束器(3)、分光镜(4)和聚焦物镜(5);所述样品及扫描模块,能够为样品在二维直线位移台(7)的带动下相对于高斯基模光束做横向扫描,也能够为高斯基模光束照明模块在扫描机构的带动下相对于样品(6)做横向扫描;所述轨道角动量域模态分解模块,按照光线传播方向依次包括样品(6)、聚焦物镜(5)、分光镜(4)、反射镜(8)、空间光调制器(9)、2f系统(10)、空间滤波器(11)和光电探测器(12)。
3.根据权利要求2所述的轨道角动量域暗场成像系统,其特征是:所述半波片(2)的旋转角度使得高斯基模光束的线偏振方向平行于空间光调制器(9)的液晶e轴。
4.根据权利要求2所述的轨道角动量域暗场成像系统,其特征是:由面阵光电探测器代替设置在所述2f系统(10)的后焦平面上的空间滤波器(11)和光电探测器(12)的组合。
5.一种轨道角动量域暗场成像方法,其特征是利用权利要求1所述的轨道角动量域暗场成像系统,按如下步骤实现轨道角动量域暗场成像:
6.根据权利要求5所述的轨道角动量域暗场成像方法,其特征是:
7.根据权利要求6所述的轨道角动量域暗场成像方法,其特征是:
技术总结
本发明公开了一种轨道角动量域暗场成像系统及成像方法,成像系统包括高斯基模光束照明模块、样品及扫描模块,以及轨道角动量域模态分解模块;成像方法是基于轨道角动量本征态在数学上构成一组完备正交基的理论,利用高斯基模光束照射被测表面,通过空间光调制器上写入的涡旋光全息图将表面缺陷的反射光场展开到轨道角动量域,利用2f系统测量反射光场在轨道角动量域的展开系数,其展开系数包括幅值和模间相位,从而获取表面缺陷的暗场图像。本发明是在轨道角动量域获取缺陷暗场成像信息,为表面缺陷检测开拓了一种全新的检测维度。
技术研发人员:董敬涛,杜云龙,卓煜华,娄思源,赵恩曦
受保护的技术使用者:合肥工业大学
技术研发日:
技术公布日:2024/11/18
文档序号 :
【 40049116 】
技术研发人员:董敬涛,杜云龙,卓煜华,娄思源,赵恩曦
技术所有人:合肥工业大学
备 注:该技术已申请专利,仅供学习研究,如用于商业用途,请联系技术所有人。
声 明 :此信息收集于网络,如果你是此专利的发明人不想本网站收录此信息请联系我们,我们会在第一时间删除
技术研发人员:董敬涛,杜云龙,卓煜华,娄思源,赵恩曦
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