一种电子级硫酸铜及其提纯方法和应用与流程

1.一种硫酸铜的提纯方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的提纯方法，其特征在于，步骤s1中，所述硫酸铜粗品溶液中含有铜元素和金属杂质元素，所述金属杂质元素包括铁、钛、铝、钙、铬、钴、铟、铅、镁、锰、镍、钾、钠、锡或锌中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的提纯方法，其特征在于，步骤s1中，所述氧化使用的氧化剂选自双氧水。

4.根据权利要求1所述的提纯方法，其特征在于，步骤s1中，所述氧化添加的氧化剂与硫酸铜粗品溶液的质量比为1：(100～400)；

5.根据权利要求1所述的提纯方法，其特征在于，步骤s1中，所述氧化的反应时间为0.5～2h；

6.根据权利要求1所述的提纯方法，其特征在于，步骤s2中，通过活性炭除油；优选地，所述活性炭的比表面积为1000～1500m2/g。

7.根据权利要求1所述的提纯方法，其特征在于，步骤s3中，在进行蒸发浓缩前，调节硫酸铜提纯液的ph值为1～2。

8.根据权利要求1～7任一项所述的提纯方法，其特征在于，各步骤中所用的水均为超纯水，所述超纯水的电导率≤1μs；和/或，所述超纯水的金属杂质总含量≤10μg/l。

9.一种电子级硫酸铜，其特征在于，由权利要求1～8任一项所述的提纯方法得到。

10.权利要求9所述的电子级硫酸铜在纳米级芯片集成电路领域中的应用。