一种太赫兹频段探针测量误差感知反馈补偿结构及探针测试校准方法
技术特征：
1.一种太赫兹频段探针测量误差感知反馈补偿结构，包括载片台(1)，载片台(1)上方两侧分别具有探针台，探针台装载有探针(3)；其特征在于：
2.根据权利要求1所述的太赫兹频段探针测量误差感知反馈补偿结构，其特征在于：所述金属部为三个，三个金属部分别为中间金属部(3021)和两个侧部金属部(3022)，中间金属部(3021)位于两个侧部金属部(3022)之间并与两个侧部金属部(3022)间隔设置；
3.根据权利要求2所述的太赫兹频段探针测量误差感知反馈补偿结构，其特征在于：中间金属部(3021)远离中间针尖(3011)的一端具有信号线(305)、接收端(306)和直流偏置(307)；所述信号线(305)、接收端(306)、直流偏置(307)依次与中间金属部(3021)远离中间针尖(3011)的一端电连接。
4.根据权利要求1所述的太赫兹频段探针测量误差感知反馈补偿结构，其特征在于：所述传感器组包括一个x轴传感器(401)、一个y轴传感器(402)、信号焊盘一(403)和信号焊盘二(404)；
5.根据权利要求4所述的太赫兹频段探针测量误差感知反馈补偿结构，其特征在于：所述基板部(304)的两侧分别具有l型的耳部(306)，基板部(304)两侧的耳部(306)对称设置；
6.根据权利要求1所述的太赫兹频段探针测量误差感知反馈补偿结构，其特征在于：还包括ccd相机(5)，ccd相机(5)的摄像端朝向载片台(1)的载片面并朝向探针(3)的针尖；
7.根据权利要求1所述的太赫兹频段探针测量误差感知反馈补偿结构，其特征在于：基板部(304)的表面具有包裹封装，金属部、传感器组被包裹于包裹封装内，针尖突出于包裹封装的表面。
8.一种太赫兹频段探针测试校准方法，其特征在于：使用如权利要求1至7任一所述的太赫兹频段探针测量误差感知反馈补偿结构；包括以下步骤：
9.根据权利要求8所述的太赫兹频段探针测试校准方法，其特征在于：
技术总结
本申请公开了一种太赫兹频段探针测量误差感知反馈补偿结构及探针测试校准方法，属于太赫兹设备领域。针对现有技术中，当探针定位不当引起的俯仰、偏航、扭转等误差会导致探针头尖端触点不能同时接触到被测芯片，引起太赫兹信号检测的不准确性的问题。本申请中，基于传感电信号与偏转角度间影响规律，实现太赫兹频段探针测量误差的感知。同时通过结合太赫兹信号测量系统的载物台实现基于误差数据的探针位置反馈补偿。基于CCD相机的图像，初步确立探针尖端距离待测芯片的高度范围。基于探针夹具传感电压反馈至载片台和探针夹具，通过操作电机调整探针尖端与被测物体的角度，从而使太赫兹探针尖端头上所有触点同时与被测物体接触且具有相同的接触力。
技术研发人员：温良恭,白中扬,许宽昀
受保护的技术使用者：北京航空航天大学青岛研究院
技术研发日：
技术公布日：2024/11/18
技术研发人员：温良恭,白中扬,许宽昀
技术所有人：北京航空航天大学青岛研究院
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