一种低温真空泵冷伞加工设备的制作方法

本发明属于低温真空泵，具体涉及一种低温真空泵冷伞加工设备。

背景技术：

1、低温泵是实现高真空和超高真空环境的关键设备。其中，冷伞(cryo-pump)是一种利用低温表面吸附气体分子的真空泵，它可以有效抽除包括氢气在内的各种气体分子，因此在半导体制造、空间模拟、粒子加速器等高端科技领域具有广泛应用。

2、低温泵通过冷却泵体内部的吸附表面至极低温度(通常低于气体的沸点)，使得气体分子的热运动减缓并最终被吸附固定。这种吸附作用对于所有气体都是有效的，特别是对于那些传统机械泵难以抽除的轻质气体(如氢气)尤其有效。

3、传统的冷伞加工通常采用手工或半自动化的方式，这不仅耗时耗力，而且精度不易控制，导致产品的一致性和可靠性受到影响。此外，传统的加工方法在加工过程中存在效率低下、材料利用率低、能耗和生产效率方面存在明显不足，成本高昂等问题。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种低温真空泵冷伞加工设备，能够大大缩短冷伞成型的时间，提高了生产效率，降低了成本。同时能够对冷伞成型时的厚度进行精确控制，从而提高了产品的质量和性能。还能够确保冷伞成型时活性炭的密度均匀一致性，从而提高了产品的稳定性和可靠性。

2、本发明采取的技术方案具体如下：

3、一种低温真空泵冷伞加工设备，包括保护盖，所述保护盖分为上护盖以及下护盖；

4、还包括导向板，所述导向板固定连接于所述上护盖以及所述下护盖之间，且所述导向板上还开设有活性炭入口；

5、中间腔，所述中间腔转动设于所述导向板内，且所述中间腔包括腔体盖板，所述腔体盖板上固定连接有中间定位块、阵列定位块以及中间趋避块；

6、导向圈，所述导向圈滑动放置于所述中间腔内；

7、驱动组件，所述驱动组件包括与所述中间腔可拆卸连接的驱动电机，且所述驱动组件还包括与所述保护盖滑动连接的震动器；

8、翻转组件，所述翻转组件与所述保护盖滑动连接。

9、进一步的，所述上护盖以及所述下护盖上分别沿所述保护盖中心阵列开设有固定孔，且所述上护盖以及所述下护盖上还分别开设有中间空位。

10、进一步的，所述导向板的数量为三个，且三个所述导向板上分别沿所述导向板中心阵列开设有与所述固定孔相对应的放置孔，且所述放置孔内通过紧固件与所述固定孔固定连接。

11、进一步的，所述腔体盖板的数量为两个，且两个所述腔体盖板上分别开设有连接孔，且所述腔体盖板上还沿所述连接孔为中心阵列设有阵列孔。

12、进一步的，所述中间定位块的厚度为5mm，且所述中间定位块固定设于两个所述腔体盖板之间，且所述中间定位块上开设有定位孔，且所述定位孔内通过紧固件与所述连接孔固定连接

13、进一步的，所述中间趋避块的厚度为5mm，且所述中间趋避块固定设于两个所述腔体盖板之间，且所述中间趋避块套设于所述中间定位块外侧。

14、进一步的，所述阵列定位块的厚度为5mm，且所述阵列定位块的数量为六个，六个所述阵列定位块固定设于两个所述腔体盖板之间，且所述阵列定位块上分别开设有紧固孔，所述紧固孔内通过紧固件与所述阵列孔固定连接。

15、进一步的，所述导向圈为金属薄片，材质为钢板，且与所述导向圈相配合使用的设有背板，所述背板为金属板，且所述背板的厚度小于1mm。

16、进一步的，所述驱动组件还包括升降推杆，所述升降推杆输出端固定连接有驱动板，且所述驱动板上固定连接有所述驱动电机以及所述震动器；

17、其中，所述驱动电机输出端穿过所述中间空位与所述腔体盖板可拆卸连接，所述震动器与所述下护盖底面可拆卸连接，且所述驱动电机输出端固定设有与所述腔体盖板进行卡接的凹槽，所述震动器输出端固定设有与所述保护盖表面相配合的吸附盘。

18、进一步的，所述翻转组件固定设于所述驱动组件底部，所述翻转组件包括支撑板，且所述支撑板与所述升降推杆固定连接，且所述支撑板上固定设有翻转电机，所述翻转电机输出端固定连接有翻转套，且所述翻转套与所述保护盖套合连接；

19、其中，所述支撑板上固定连接有调节电机，所述调节电机输出端固定连接有调节板，所述调节板上固定连接有所述翻转电机。

20、本发明取得的技术效果为：

21、本发明的一种低温真空泵冷伞加工设备，本设备通过在腔体盖板中固定设置定位块，通过定位块控制腔体盖板的厚度，使活性炭在加注到腔体盖板中的厚度一致，决定了活性炭的吸附能力和使用寿命。能够实现对冷伞成型时的厚度进行精确控制，确保每个产品都符合规定的标准。这不仅提高了产品的质量，还提升了产品的性能和稳定性。同时，设备操作简单，维护方便，能够降低人力成本。

22、本发明的一种低温真空泵冷伞加工设备，本设备通过保护盖以及导向环的配合使用，能够确保冷伞在进入中间腔体的稳定，通过驱动组件能够对腔体进行轻微的震动，使进入腔体内的活性炭能够均匀分布于中间腔体内。确保了活性炭在冷伞成型时的均匀分布，提升了冷伞在低温真空泵中的吸附效率和稳定性。同时通过保护盖、导向环以及驱动组件的配合有效地利用资源，降低了生产过程中的能耗和原材料浪费，使生产效率得到显著提升。

23、本发明的一种低温真空泵冷伞加工设备，通过驱动组件中的驱动电机能够有效带动中间腔体进行转动，使腔体内的成型冷伞更加牢固，通过导向圈与背板的配合，确保成型后在进行翻转放置冷盘时模体不会发生移动。不仅优化了成型工艺，还能够极大地缩短了冷伞成型的时间，显著提升了生产效率。

1.一种低温真空泵冷伞加工设备，其特征在于：包括保护盖(10)，所述保护盖(10)分为上护盖(11)以及下护盖(12)；

2.根据权利要求1所述的一种低温真空泵冷伞加工设备，其特征在于：所述上护盖(11)以及所述下护盖(12)上分别沿所述保护盖(10)中心阵列开设有固定孔(13)，且所述上护盖(11)以及所述下护盖(12)上还分别开设有中间空位(14)。

3.根据权利要求2所述的一种低温真空泵冷伞加工设备，其特征在于：所述导向板(20)的数量为三个，且三个所述导向板(20)上分别沿所述导向板(20)中心阵列开设有与所述固定孔(13)相对应的放置孔(22)，且所述放置孔(22)内通过紧固件与所述固定孔(13)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种低温真空泵冷伞加工设备，其特征在于：所述腔体盖板(31)的数量为两个，且两个所述腔体盖板(31)上分别开设有连接孔(311)，且所述腔体盖板(31)上还沿所述连接孔(311)为中心阵列设有阵列孔(312)。

5.根据权利要求4所述的一种低温真空泵冷伞加工设备，其特征在于：所述中间定位块(32)的厚度为5mm，且所述中间定位块(32)固定设于两个所述腔体盖板(31)之间，且所述中间定位块(32)上开设有定位孔(321)，且所述定位孔(321)内通过紧固件与所述连接孔(311)固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种低温真空泵冷伞加工设备，其特征在于：所述中间趋避块(34)的厚度为5mm，且所述中间趋避块(34)固定设于两个所述腔体盖板(31)之间，且所述中间趋避块(34)套设于所述中间定位块(32)外侧。

7.根据权利要求4所述的一种低温真空泵冷伞加工设备，其特征在于：所述阵列定位块(33)的厚度为5mm，且所述阵列定位块(33)的数量为六个，六个所述阵列定位块(33)固定设于两个所述腔体盖板(31)之间，且所述阵列定位块(33)上分别开设有紧固孔(331)，所述紧固孔(331)内通过紧固件与所述阵列孔(312)固定连接。

8.根据权利要求1所述的一种低温真空泵冷伞加工设备，其特征在于：所述导向圈(40)为金属薄片，材质为钢板，且与所述导向圈(40)相配合使用的设有背板(41)，所述背板(41)为金属板，且所述背板(41)的厚度小于1mm。

9.根据权利要求2所述的一种低温真空泵冷伞加工设备，其特征在于：所述驱动组件(50)还包括升降推杆(53)，所述升降推杆(53)输出端固定连接有驱动板(54)，且所述驱动板(54)上固定连接有所述驱动电机(51)以及所述震动器(52)；

10.根据权利要求9所述的一种低温真空泵冷伞加工设备，其特征在于：所述翻转组件(60)固定设于所述驱动组件(50)底部，所述翻转组件(60)包括支撑板(61)，且所述支撑板(61)与所述升降推杆(53)固定连接，且所述支撑板(61)上固定设有翻转电机(62)，所述翻转电机(62)输出端固定连接有翻转套(63)，且所述翻转套(63)与所述保护盖(10)套合连接；